Gebraucht PLASMATHERM 770 #9124177 zu verkaufen

Hersteller
PLASMATHERM
Modell
770
ID: 9124177
Wafergröße: 2-8"
Weinlese: 1995
Reactive Ion etcher (RIE), 2"-8" Parallel plate type, 11" Upper electrode and lower electrode, 9" Multi-wafer size design up to 8" wafers Graphite feature plate Adjustable upper electrode height SEIKO / SEIKI STP-H300C Turbo pump SEIKO / SEIKI STP Controller (9) MFC's ADVANCED ENERGY RFPP 5S With AM5 matching network 290 Ion gauge controller MKS 286 Controller Disconnect box Plasmathem PC Power supply: 208 V, 60 A, 60 Hz, 3-Phase 1995 vintage.
PLASMATHERM 770 ist ein Ätzer/Ascher, der von Hightech-Industrien auf der ganzen Welt zum präzisen Ätzen und Aschen verschiedener Materialien verwendet wird. Die Maschine nutzt eine Kombination aus Mikrowellenenergie und Hochfrequenzplasma, um jedes Material effektiv und genau zu ätzen und zu aschen. 770 verarbeitet typischerweise Substrate im Bereich von 1 „bis 9“ mit verschiedenen Dicken. Es verwendet ein spezielles patentiertes Kammerdesign, um den Prozess für beste Ätz- und Ascheergebnisse zu optimieren. Das Verfahren ist vielseitig, da es sowohl beschichtete als auch nicht beschichtete Substrate jeder Dicke, Größe, Form und Material handhaben kann. Das Modell enthält auch zwei separate Deckel, um sicherzustellen, dass keine äußeren Verunreinigungen in den Innenraum der Maschine gelangen. Nach dem Beladen des Substrats in die Maschine wird dann die Prozesskammer abgedichtet und ausgepumpt, um ein Vakuum zu erzeugen. Dies geschieht, um mögliche Verunreinigungen oder Sauerstoffkonzentrationen innerhalb der Kammer zu entfernen. Anschließend wird mit einem HF-Generator ein seltenes Gasgemisch angeregt und ein Mikrowellenfeld zur Plasmaerzeugung erzeugt. Der Kammerdruck von PLASMATHERM 770 ist je nach Anwenderanforderungen und gewünschter Ätzrate einstellbar. Darüber hinaus verfügt es über ein intelligentes Temperaturregelungssystem, das gewährleistet, dass die optimale Prozesstemperatur unabhängig von Änderungen in Substrattypen oder Ätzprozessen eingehalten wird. Für zusätzliche Sicherheit ist das Gerät auch mit einem eingebauten Feuerlöschsystem ausgestattet und verfügt über automatische Kühlparameter. Die Plasmadichte des Ätzers ist ebenfalls einstellbar, was seine Ätzraten und Zykluszeiten weiter erhöht. Neben seinen Ätz- und Aschefunktionen bietet 770 auch eine Vielzahl weiterer Funktionen. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und ein Touchscreen-Display, um Bediener und Benutzer beim Be- und Entladen von Substraten in der Kammer zu unterstützen. Ein EEPROM-Speicherchip mit einer 2048MB Kapazität ermöglicht es Benutzern, vorherige Programmeinstellungen für zukünftige Ätzprozesse zu speichern. PLASMATHERM 770 ist als einfacher und dennoch hocheffizienter Ätzer/Ascher konzipiert. Es ist die perfekte Wahl für Hochtechnologiebranchen, die schnelles und genaues Ätzen und Aschen verschiedener Materialien benötigen. Mit seinem intuitiven Design und seinen benutzerfreundlichen Funktionen ist 770 die ideale Wahl für diejenigen, die nach überlegenen Ätzergebnissen suchen.
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