Gebraucht PLASMATHERM 790 RIE #293811826 zu verkaufen
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ID: 293811826
Wafergröße: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
Leybold D40BCS
Neslab HX75 Chiller
Gases Used: Ar, SF6, N2, O2.
PLASMATHERM 790 RIE (Reactive Ion Etching) ist eine hochmoderne, voll funktionsfähige Ätzausrüstung, die von PLASMATHERM entwickelt wurde. Es ist in der Lage, isotropes und anisotropes Ätzen von fortgeschrittenen Materialien wie dielektrischen, organischen, Halbleiter- und MEMS-Strukturen durchzuführen. 790 RIE verfügt über eine skalierbare, modulare Plattform, die eine effiziente Konfiguration von Prozessen und eine schnelle Anpassung an die Bedürfnisse von Unternehmen ermöglicht. Die Prozessflexibilität wird durch die modulare, mehrkammerige Konstruktion, die den Anbau von Kammern für unterschiedliche Aufgaben ermöglicht, weiter verbessert. Darüber hinaus sorgt die große Kammergröße für eine gleichmäßige Ätzbearbeitung, während die große Rezepturauswahl eine präzise Ätzkontrolle unabhängig von Geometrie oder Material ermöglicht. PLASMATHERM 790 RIE verwendet einen Hochleistungs-HF-Generator und eine Vakuumpumpe, um eine Niederdruckumgebung und eine Kathode zur Aufrechterhaltung der Ätzrate zu schaffen. Dies ermöglicht die optimale Einstellung von Prozessparametern, so dass ein qualitativ hochwertiges Ätzen mit höchster Präzision erreicht werden kann. Darüber hinaus bietet ein leistungsstarkes Kammerkühlsystem eine hervorragende thermische Steuerung, die eine hohe Wiederholbarkeit und überlegene Zuverlässigkeit im Laufe der Zeit ermöglicht. Die fortschrittliche Software des Geräts gewährleistet eine wiederholbare, zuverlässige und kontrollierbare Ätzung von Anfang bis Ende. Es enthält auch zahlreiche Sicherheits- und Schutzfunktionen, um Maschinenschäden oder Fehler zu vermeiden. Darüber hinaus bietet der einzigartige Analyzer-Modus ein tieferes Verständnis des Ätzprozesses, indem er jeden Durchlauf automatisch analysiert und relevante Parameter anzeigt. Das Tool wird auch mit einer Vielzahl von Zubehör für zusätzliche Funktionalität, wie eine optionale Kühler mit Bypass-Leitung, Remote-Diagnose-Diagnose und Reparatur, eine optimierte Load Lock, und eine automatisierte Palette Transfer-Asset. Darüber hinaus ermöglicht das optionale integrierte Vision-Modell für die genaue Ausrichtung und Registrierung von Druckgeräten eine nahtlose Anpassung an neue Designs und eine schnellere Verarbeitung. Insgesamt ist 790 RIE eine leistungsstarke und zuverlässige Ätzausrüstung, die überlegene Präzision, Wiederholbarkeit und Prozessstabilität bietet. Dies ermöglicht es Unternehmen, knappe Fristen zu erreichen und mit Leichtigkeit das höchste Qualitätsniveau zu erreichen.
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