Gebraucht PLASMATHERM 790 Series MF #9382210 zu verkaufen
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ID: 9382210
Wafergröße: 11"
Weinlese: 1994
Reactive Ion Etcher (RIE), 11"
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
1994 vintage.
PLASMATHERM 790 Serie MF ist ein präziser und vielseitiger Ätzer/Ascher von AIXTRON. Dieser Ätzer wurde entwickelt, um Chips, Substrate, Wafer und andere dünne Materialschichten zu ätzen und zu aschen. Es verfügt über eine integrierte Präzisionskontrollausrüstung für genaues Ergebnis. 790 Serie MF ist extrem präzise und präzise, mit einer inneren Schichtstruktur nur 11 Mikrometer dick. Dadurch wird sichergestellt, dass auch auf extrem dünnen Substraten genaues Ätzen und Aschen möglich ist. Die Wiederholbarkeit und Größengenauigkeit dieses Ätzers ist mit einer Auflösung von 0,01 μ m bis 0,05 μ m unübertroffen. PLASMATHERM 790 Serie MF ist rund um den Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Prozess konzipiert. Dies ist ein äußerst zuverlässiger und flexibler Prozess, mit dem der Benutzer die Ätzrate, Selektivität und Gleichmäßigkeit der geätzten Schichten steuern kann. Dieser Ätzer ist darauf ausgelegt, ladungsgekoppelte Bauelemente (CCDs), komplementäre Metall-Oxid-Halbleiter (CMOS) -Transistoren, Kondensatoren, Induktivitäten, integrierte Leiterplatten und viele weitere dünne Materialschichten präzise zu ätzen und zu verwerten. 790 Serie MF wurde für niedrige Betriebskosten und minimalen Wartungsaufwand konzipiert. Der Ätzer hat eine verlängerte Lebensdauer, mit null Ausfallzeiten zwischen den Aufträgen. Dies sorgt für maximale Produktivität und Effizienz. Der Ätzer ist auch einfach aufzubauen und zu bedienen, mit einer eingebauten schwingungsarmen Vakuumpumpe für effizientes Be- und Entladen von Prozessen. Dieser Ätzer kann einfach in jede Fertigungslinie und jedes System integriert werden. PLASMATHERM 790 Serie MF verfügt über eine fortschrittliche Inertgasfördereinheit, um qualitativ hochwertige und produktive Prozesse zu gewährleisten. Dieser Ätzer bietet komplette Prozessflexibilität und Zuverlässigkeit mit bis zu 4 unabhängigen Prozessgasquellen und bis zu 3 unabhängig gesteuerten Gasdruck. Mit einer Gasfördermaschine auf Basis von Dreiwege- und Vierwegemagnetventilen ist die 790 Series MF in der Lage, höchste Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus bietet der Ätzer ein modernes HF-Netzteil zur präzisen Steuerung von Leistungsmanagement und Prozessgleichförmigkeit. Das fortschrittliche Laufzeit-Datenüberwachungstool ermöglicht es dem Ätzer auch, Asset-Leistungen zu überwachen und Einblicke in die Prozessdynamik zu gewähren. Dies hilft, Ätz- und Ascheergebnisse für konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu optimieren.
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