Gebraucht PLASMATHERM 790 #293729354 zu verkaufen
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ID: 293729354
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 1993
Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Single chamber
Material used: Gas and Silicon
MFC: N2/SiH4/HE, HE, NH3
Pump
HX75 Chiller
RF
No loadlock
Throttle valve
Ion gauge controller: Manometer
Gas panel
Fluid input panel
Temperature control system
Operating system
1993 vintage.
PLASMATHERM 790 ist ein Ätzer/Ascher, der für die genaue und wiederholbare Verarbeitung von Materialien konzipiert ist. Es ist mit einer automatisierten Prozesssteuerungsplattform ausgestattet, die einen einfach zu bedienenden, präzisen und wiederholbaren Prozess bietet. Das System wurde entwickelt, um verschiedene Arten von Proben wie Polymer-, Metall- oder Metall-Polymer-Verbundwerkstoffen zu verarbeiten. Es ist in der Lage, sehr hohe Temperaturen bis 800 ° C zu erreichen, um präzise, wiederholbare Ätz- und Aschelösungen bereitzustellen. Das Werkzeug enthält eine leistungsstarke, wartungsarme Vakuumpumpe. Die Pumpe sorgt für einen konstanten und präzisen Druck in der Kammer, der einen präzisen Prozess gewährleistet und eine häufige Wartung überflüssig macht. Die Innovation dieser Plattform besteht darin, dem Anwender im Laufe der Zeit präzise Ergebnisse zu liefern, wodurch die Notwendigkeit einer häufigen Drosselung oder Einstellung des Drucks reduziert wird. Der Körper von 790 ist robust und zuverlässig und für den kontinuierlichen Routinebetrieb ausgelegt. Es ist mit zuverlässigen Sicherheitssystemen ausgestattet, die Verletzungen oder Schäden an Benutzern und Geräten verhindern. Es verfügt über mehrere und sogar mehr als ein Hochfrequenznetzteil zur präzisen Leistungsregelung über den gesamten Ätz- und Aschevorgang. Es bietet auch eine breite Palette von Steuerung mit seiner automatisierten Prozesssteuerungsplattform, die einen einfachen Zugriff auf erweiterte Funktionen ermöglicht. Über diese Plattform kann der Benutzer zwischen einem manuellen oder einem automatisierten Ätz- und Ascheprozess wählen. Die verschiedenen Prozessprofile können aus einer PC-Software programmiert werden, die auch alle Aspekte des Ätz- und Ascheprozesses steuert. Darüber hinaus kann der Benutzer die Temperatur und den Druck in der Kammer, den Gasfluss und die genaue Menge an Energie steuern, um dem Material zuzuführen. Insgesamt bietet PLASMATHERM 790 dem Anwender Präzision, Wiederholbarkeit und zuverlässigen Betrieb. Es ist ein ideales Werkzeug für die fortschrittliche Materialbearbeitung und eignet sich sowohl für die Forschung als auch für den industriellen Einsatz. Es bietet auch eine automatisierte Prozesssteuerungsplattform, die es dem Benutzer ermöglicht, den Prozess mit minimalem Aufwand einfach zu programmieren und die volle Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess zu genießen.
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