Gebraucht PLASMATHERM 790 #9124022 zu verkaufen
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ID: 9124022
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 1993
PECVD Deposition system, 2"-6"
PC OS controlled
8" Electrode
Advanced Energy RFPP - RF5S power supply
Gas panel: 5 MFCs- N2, SiH4, NH3, N2, CF4
NESLAB RTE III Chiller
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1993 vintage.
PLASMATHERM 790 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von F&E- und Produktionsanwendungen. Es ist mit einer leistungsstarken, stabilen und präzisen Plasmaquelle mit einer optimalen hohen Selektivitätseffizienz ausgestattet. Das Gerät verwendet fortschrittliche Mikrowellen-Plasma-Technologie, um maximale Ätz- und Ascheproduzierbarkeit, Prozessgenauigkeit und allgemeine Qualitätskontrolle zu erreichen. 790 nutzt ein robustes HF-Netzteil neben einer fortschrittlichen laserbasierten Steuerung und einem hocheffizienten Plasmaemitter, um eine präzise Prozesssteuerung und einen maßgeschneiderten Durchsatz zu ermöglichen. Im Kern verfügt diese Einheit über ein patentiertes ASI (Atomistic Machine Interface), das die Möglichkeit bietet, jeden Verarbeitungsschritt separat zu programmieren, was komplexe Verarbeitung und anspruchsvolle Anforderungen ermöglicht. Das Tool bietet fortgeschrittene zeitgesteuerte Prozesse zur Prozessoptimierung, die über eine Vielzahl von Parametern feinjustiert werden können. Es ist auch mit fortschrittlichen Steuerungswerkzeugen ausgestattet, die helfen können, einheitliche Ätztiefen und Prozessgeometrien zu erreichen. Darüber hinaus verfügt PLASMATHERM 790 über schnelle und zuverlässige Wiederholfähigkeiten, um die Konsistenz der Ergebnisse während eines Produktionslaufs sicherzustellen. Das Asset bietet mehrere Prozessoptionen - wie Gasätzen, Hoch- und Niederdruckplasmaätzen, reaktives Ionenätzen (RIE) und Nanostrukturieren -, die mit fortschrittlicher CAD-Modellierung, Modellierungsanimation und integrierter optischer Inspektion in einen Single-Wafer-Lauf integriert werden können. Das Modell verfügt außerdem über eine integrierte zweistufige Vakuumausrüstung, die eine beispiellose Kontrolle über die Plasmaquelle bietet und dem System eine hervorragende Prozessvielfalt verleiht. Darüber hinaus werden 790 mit fortschrittlichen Funktionen wie Temperaturüberwachung, HF-Überflutung, Prozessbewertung und -optimierung sowie Produktakzeptanztests geladen, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit sicherzustellen. Mit seinem integrierten Softwarepaket können Benutzer Plasmaoperationen überwachen und analysieren und individuelle Rezepte für bestimmte Anwendungen erstellen. Die benutzerfreundliche Oberfläche des Geräts ermöglicht eine einfache und intuitive Bedienung und Konfiguration. Insgesamt ist PLASMATHERM 790 ein idealer Ätzer/Ascher für anspruchsvolle Anwendungen. Es bietet einen vielseitigen, hochpräzisen Ätz-/Ascheprozess, gepaart mit außergewöhnlichen Steuerungsfunktionen. Diese Maschine ist sehr zuverlässig, wiederholbar und kostengünstig, was sie zu einer attraktiven Option für Unternehmen macht, die ihre Produktionslinien effizient am Laufen halten möchten.
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