Gebraucht PLASMATHERM 790 #9156794 zu verkaufen

PLASMATHERM 790 ist ein Plasmaätzer/Ascher, der eine hervorragende Ätz- und Ascheleistung für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. 790 hat ein Multi-Gas-Array-Design und Plasma-Last-Lock, so dass es die ideale Plattform für das Ätzen und Aschen. Das Multi-Gas-Array-Design von PLASMATHERM 790 ermöglicht es dem Benutzer, den Fluss mehrerer Gase in die Ätzkammer zu konfigurieren. Die Plasmabelastschleuse ermöglicht auch die Einleitung verschiedener Gase in die Ätzkammer, ohne dass Substrate entladen und nachgeladen werden müssen. 790 kommt mit einer automatisierten Steuerung zur präzisen Ätzung. Das Infrarot-Temperaturregelungssystem hilft, die Temperaturstabilität während des gesamten Ätzprozesses aufrechtzuerhalten, während die Präzision Low-VOC-Gasförderung und die integrierte Plasmasteuereinheit eine präzise Steuerung von Ätzparametern wie Vorspannung, Hochfrequenzleistung und Kammerdruck ermöglicht. Die automatische Steuerung trägt dazu bei, die Ätzgleichmäßigkeit zu minimieren und die Ätztiefe zu verbessern. PLASMATHERM 790 ist für kleine und große Substrate konzipiert und hat einen hohen Geschwindigkeit Ätz-/Aschedurchsatz. Die große Kammergröße und der leistungsstarke HF-Generator ermöglichen ein effektives Ätzen/Aschen von dickeren Wafern oder Substraten, wodurch dieser Ätzer/Ascher ideal für Produktions- oder Forschungszwecke ist. 790 ist mit einer Reihe von Vorläufermaterialien wie Sauerstoff, Argon, Helium und Wasserstoff kompatibel, was Anwendern Flexibilität und Kontrolle über den Ätzprozess bietet. PLASMATHERM 790 hat eine gut isolierte Kammerstruktur, in der sich eine Quarzplasmazone befindet, die eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Die geschlossene, gasdichte Konstruktion der Plasmakammer ermöglicht eine minimale Partikel-, Wärme- und Geräuschentwicklung, wodurch dieser Ätzer/Ascher ideal für den Einsatz in Reinraumumgebungen geeignet ist. Die hohe Stabilität von 790 macht es auch sehr kompatibel mit high-N2 Ätzprozessen. Insgesamt ist PLASMATHERM 790 eine ausgezeichnete Auswahl an Ätzern/Aschern für verschiedene Ätz- und Aschebedürfnisse. Das intelligente Design von 790 und Automatisierungssteuerungswerkzeug hilft, den Ätz-/Ascheprozess zu vereinfachen und bietet Anwendern mehr Genauigkeit und verbesserte Prozessgleichförmigkeit. Darüber hinaus trägt das geschlossene Kammer- und Isolationsdesign dazu bei, Wärme, Vibrationen und Geräusche zu reduzieren und gleichzeitig eine überlegene Temperaturstabilität für bessere Ätz-/Ascheergebnisse zu bieten.