Gebraucht PLASMATHERM 790 #9156796 zu verkaufen
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ID: 9156796
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
PECVD Deposition system, 8"
Upper & lower electrode
Advanced Energy RFSS 5S
Lower electrode heated platen with controller
Plasmatherm PC Window based OS
208V, 60Hz, 60A
1999 vintage.
PLASMATHERM 790 ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher für eine breite Palette von Präzisionsätz- und Ascheanwendungen. Ausgestattet mit einer 24 Zoll langen Quarzkammer aus Industriegüte bietet 790 eine zuverlässige, aktive Verkabelung und bis zu 400 Watt Leistung für schnelles Ätzen/Aschen und hochwertige Ergebnisse. Neben den hochentwickelten Steuerungssystemen und der fortschrittlichen Diagnostik verfügt PLASMATHERM 790 über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, darunter einstellbare Gasdruckeinstellungen, dynamische Temperatursensoren und eine aktive Überwachung der thermischen Stabilität. 790 ist mit einem eingebauten Plasmagenerator ausgestattet, um das Hochgeschwindigkeitsätzen/-aschen zu ermöglichen. Darüber hinaus ist PLASMATHERM 790 mit einer Stickstoffspülvorrichtung ausgestattet, um sicherzustellen, dass während des Ätz-/Aschevorgangs gleichmäßige Mengen an Sauerstoff, Stickstoff und anderen Gasen vorhanden sind. Das System verfügt über Gasausgleich und Übergangsmodi, um einen gleichmäßigen Druck während des gesamten Prozesses sowie eine schnelle Wafer-Mischung zwischen den Schritten zu gewährleisten. 790 verfügt auch über fortschrittliche Temperaturregelungstechnologie und enthält eine integrierte aktive Schutzeinheit (APS), um optimale Temperaturbedingungen beim Ätzen/Aschen zu gewährleisten. Das APS passt automatisch die Temperatur der Kammer an und passt die Leistungsstufen entsprechend an, um genaue Temperaturbedingungen während des gesamten Prozesses zu erhalten. Die Ätzrate von PLASMATHERM 790 ist präzise und konsistent und somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die präzise Ergebnisse erfordern. Es bietet einen Bereich von Ätztiefen von wenigen Mikrometern bis zu einigen hundert Mikrometern pro Minute. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Diagnosemaschine von 790 Anwendern, Probleme mit dem Ätz-/Ascheprozess schnell zu erkennen und zu beheben. Zusammenfassend ist PLASMATHERM 790 ein zuverlässiger, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der ein präzises, wiederholbares Ätzen/Aschen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Es bietet bis zu 400 Watt Leistung und ist mit fortschrittlicher Steuerungstechnologie und Echtzeitdiagnose ausgestattet, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten. 790 verfügt auch über einstellbare Gasdruckeinstellungen und Temperatursensoren sowie aktive Schutzsysteme, um eine zuverlässige und gleichmäßige Gasströmung in der Kammer zu gewährleisten.
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