Gebraucht PLASMATHERM 790 #9260193 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9260193
Weinlese: 1993
PECVD System
Operating system: Windows 3.1
RF Plasma
ADVANCED ENERGY RF 5S Power supply
Power output: 500 W at 13.56 MHz
Max pressure: 900 mT
Deposited materials:
Amorphous
Nanocrystalline Si deposition
Si3N4
SiO2 films
Gases:
CF4 / O2
CH4 / 10 sccm
He / 500 sccm
N2O / 100 sccm
B2H6 / 10 sccm
PH3 / 10 sccm
NH3 / 500 sccm
SiH4 / 50 sccm
H2 / 10000 sccm
N2 Needle valve
1993 vintage.
PLASMATHERM 790 ist ein Etcher/Asher, speziell eine Technologie, die Plasma verwendet, um auf einer Vielzahl von Materialien wie Metallen, Halbleitern und Polymeren zu ätzen, zu reinigen und zu aktivieren. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Ätz- und Aschemöglichkeiten, darunter reaktives Ionenätzen (RIE), ein CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) und eine Trockenausrüstung. Das System ist mit zwei Hochleistungsenergiequellen ausgestattet, die im Vergleich zu anderen Ätzsystemen höhere Durchsatzraten und Flexibilität bei der Anwendung ermöglichen. PLASMATHERM umfasst HF-Oberflächenschläge sowie mehrere Konfigurationsoptionen, einschließlich Auto-Center und Auto-Scan. Das Gerät verfügt über eine 6,4 "IDLF (Chamber Desiccator Deckel), eine voll beladene Backstation und eine Direkt-zu-Voltex-Stromversorgung für leistungsstarke Ätz- und Ascheanforderungen. Das 6,4 "IDLF kann bis zu 2,7 nm pro Sekunde verarbeiten, mit einer maximalen Schienengeschwindigkeit von 30 nm pro Minute. PLASMATHERM wird auch mit einem integrierten Temperaturüberwachungs- und Steuergerät geliefert. Die Temperier- und Monitoreinheit basiert auf zwei Messwerten, je einer für die beiden verwendeten Netzteile. Dadurch kann die Temperatur der Plasmakammer geregelt werden, um die Verarbeitungsergebnisse zu optimieren. 790 nutzt eine fortschrittliche ECOALD-motorisierte Stufe zur präzisen Bewegungssteuerung bei hochvolumigen Prozessen. Diese Bewegungssteuermaschine verwendet einen internen Controller, um die Bühnenbewegung zu überwachen, was eine aggressivere thanmechanische Stabilität ermöglicht. Die Kohlenstofffaser- und Stahlkonstruktion der Bühne sorgen für Stabilität bei der aggressiven Hochvolumenverarbeitung. Das Werkzeug beinhaltet auch eine Temperaturüberwachung und -regelung bis 1000 ° C. PLASMATHERM 790 verfügt über eine eingebaute Steuergeräteüberwachung und eine eingebaute Diagnoseeinheit. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, ihren Prozess zu testen und bei Bedarf Anpassungen oder Fehlersuche vorzunehmen. PLASMATHERM hat auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um Benutzer während des Betriebs vor Schäden zu schützen. Das Modell ist so konzipiert, dass es bei Gas- oder Spannungsschwankungen automatisch Strom abschaltet, sowie einen Sprengschutz zum Schutz des Personals vor einer unbeabsichtigten Druckerhöhung. Zur Ausstattung gehört auch ein eingebauter Quarzfensterreiniger, der das Porzellan schützt. 790 ist ein fortschrittlicher, automatisierter Etcher/Asher, der für hochvolumige Operationen entwickelt wurde. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, einschließlich fortschrittlicher Bewegungssteuerung, Temperaturkontrolle und Explosionsschutz. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien mit hoher Präzision und Genauigkeit zu ätzen, so dass Benutzer Prozesse für bestimmte Aufträge optimieren können. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale gewährleisten zudem die Sicherheit des Benutzers während des Betriebs.
Es liegen noch keine Bewertungen vor