Gebraucht PLASMATHERM 790 #9296260 zu verkaufen

PLASMATHERM 790
Hersteller
PLASMATHERM
Modell
790
ID: 9296260
Weinlese: 2001
PECVD System 2001 vintage.
PLASMATHERM 790 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für eine schnelle, zuverlässige und wiederholbare Verarbeitung einer Reihe elektronischer Materialien wie Silizium, Metalle, Polymere und Quarz entwickelt wurde. Es ermöglicht ein sehr gleichmäßiges Plasmaätzen und Aschen von Halbleiterscheiben und kann auch zur Entfernung organischer Materialien aus Wafern verwendet werden. 790 arbeitet durch Erzeugung eines hochgleichmäßigen und stabilen Plasmas in seiner Verarbeitungskammer unter Verwendung einer induktiv gekoppelten, zweifrequenten HF-Stromversorgung. Dieser Vorgang ermöglicht die Erstellung eines engen Prozessfensters und ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzparameter. Die Kammer ist mit einem Quarz-Viewing-Port versiegelt und das System ist in der Lage, eine breite Palette von Wafer-Designs einschließlich Standard- und kundenspezifische Größe Wafer zu verarbeiten. PLASMATHERM 790 enthält eine Reihe von fortschrittlichen Funktionen, um höchste Qualität Ergebnisse zu gewährleisten. Dazu gehören programmierbare Prozesssteuerungen zur Gewährleistung konsistenter Ätz- und Aschezeit und -temperatur, eine Echtzeit-Anzeige von Prozessparametern und eine Datenerfassungsfunktion, die Wiederholbarkeit und Rückverfolgbarkeit während der Prozessentwicklung ermöglicht. Die Einheit kann auch mit einem Hostcomputer zur Fernüberwachung und -steuerung integriert werden. Die Maschine ist in der Lage, reproduzierbare, einheitliche Ätzprofile auf einer Vielzahl von Materialien und Dicken mit minimaler Variation der Ätzgeschwindigkeit zu produzieren. Es ist sehr zuverlässig, mit niedrigem Stromverbrauch und geringerem Stromverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen Ätzsystemen. Insgesamt ist 790 ein fortschrittliches und vielseitiges Ätz-/Ascherwerkzeug, das sich ideal für Unternehmen eignet, die eine zuverlässige, effiziente und kostengünstige Prozesskontrolle für ihre Ätz- und Ascheanwendungen suchen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor