Gebraucht PLASMATHERM AMNS-3000E #293604270 zu verkaufen
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PLASMATHERM AMNS-3000E ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die hocheffizient und zuverlässig ist. Es ist für das Präzisionsätzen/Aschen verschiedener Substrate wie Kupfer, Polyimid, Silizium, Glas und Metalle konzipiert. Das System kann für den manuellen oder automatisierten Betrieb für Anwendungen wie Flachbildschirme, magnetische Aufzeichnungsmedien und die Herstellung von Halbleiterbauelementen konfiguriert werden. Die Ätz-/Ascheeinheit besteht aus drei Hauptkomponenten, nämlich der Eingangsplatte, der Ausgangsplatte und der Ätz-/Aschekammer. Die Eingangsplatte ist für Substrate bis zu 20 x 20 Zoll ausgelegt. Es verwendet eine vertikal bewegliche Plattform, um die Substrate zu stützen, sowie eine zweistufige Vakuummaschine, um eine ordnungsgemäße Haftung auf der Platte zu gewährleisten. Die Ausgangsplatte ist für bis zu 8 Substrate ausgelegt. Es weist ein integrales Förderbandwerkzeug auf, das von einem Antriebsmotor mit variabler Frequenz angetrieben wird. Die Ätz-/Aschekammer ist das Herzstück der Anlage mit einem zweistufigen Plasmainjektionsmodell. Dies bietet sowohl ein Ar/O2 Plasma zum Ätzen/Aschen als auch eine harmonische Antriebseinrichtung zur unabhängigen Steuerung jedes Prozesses. Das System ist zudem mit einem Mikrocomputer zur Prozessoptimierung und programmierbarer Schnittstelle zur Aufgabenverwaltung ausgestattet. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie eine Druckkammer, eine Verriegelungsmaschine zum Schutz des Personals und eine einstellbare Gasflussregelung für optimierte Prozesserträge. Neben dem Ätz-/Ashing-Tool beinhaltet AMNS-3000E auch ein leistungsfähiges Steuerungssoftwarepaket. Das Paket wurde entwickelt, um Anwendern eine erweiterte Prozesssteuerung und automatisierte Rezeptverwaltung zu bieten, sodass Benutzer problemlos auf kritische Prozessrezepte zugreifen können. Die Software ermöglicht es Benutzern auch, alle Hardwareparameter zu überwachen, sowie den Prozessbetrieb anzupassen, zu diagnostizieren oder zu verfeinern. PLASMATHERM AMNS-3000E ist ein idealer Vorteil für eine Reihe von Ätz-/Ascheoperationen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und seine hohe Prozesssicherheit machen es zu einem außergewöhnlichen Wert. Dank seines benutzerfreundlichen Designs ist das Modell auch einfach zu bedienen und kann immer wieder konstante Ergebnisse liefern.
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