Gebraucht PLASMATHERM Dual chamber 730/720 RIE #9123973 zu verkaufen

PLASMATHERM Doppelkammer 730/720 RIE ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Ätz- und Aschewerkzeug. Es ist in der Lage, komplexe Merkmale verschiedener Formen und Tiefen auf komplexen und detaillierten Oberflächen zu erzeugen. Entwickelt für die Verarbeitung einer breiten Palette von Materialien, ist es ideal für Anwendungen in der Mikroelektronik, MEMs und optischen Komponenten Herstellung. Diese Maschine verwendet eine Kombination aus reaktivem Ionenätzen (RIE) und Hochfrequenzplasma zum Ätzen und/oder Aschen von Materialien unterschiedlicher Form und Größe. Es bietet eine präzise Kontrolle der Bearbeitungszeit und des Drucks und ermöglicht einen hohen Durchsatz von Teilen mit hervorragenden Ergebnissen. Es besteht aus zwei Prozessen in einer Doppelkammerausrüstung. Zum einen wird mit der HF-Plasmakammer ein gleichmäßiges Temperaturprofil und eine gleichmäßige Ätzrate über der Waferoberfläche erzeugt. Zweitens wird die RIE-Kammer verwendet, um die Ionen auf der Oberfläche zu polymerisieren und zu konzentrieren. Dieses Doppelkammersystem sorgt für maximale Leistung und Gleichmäßigkeit bei jeder Aufgabe. Der 730/720 RIE besteht aus einer Vakuumkammer, einem HF-Stromgenerator, einem Prozessgaseinlass und einer gesteuerten Druckeinheit. Die Kammer ist für Wafer bis zu 8 "ausgelegt und verfügt über ein elektrostatisches Spannfutter, um die Wafer genau an ihrem Platz zu halten. Der Tiefätzvorgang findet innerhalb der Kammer statt, wodurch eine Materialverunreinigung aus der Umgebung ausgeschlossen wird. Der HF-Stromgenerator ermöglicht überlegene Ätzsteuerungen und eine präzise Zeitsteuerung der Ätzlängen. Der Generator ermöglicht es dem Benutzer auch, die erzeugte HF-Leistung einzustellen, um die Ätzrate zu optimieren und komplizierte Detailstrukturen zu schaffen. Darüber hinaus ermöglicht die Prozessgasmaschine die Vermischung verschiedener Gase und bietet mehr Vielfalt für das Ätzen verschiedener Materialtypen. Die Dual Chamber 730/720 RIE bietet beispiellose Leistungsfähigkeit und Präzision und bietet die höchsten verfügbaren Qualitätsätz- und Ascheergebnisse. Mit seiner Kombination aus RF- und RIE-Technologie in Doppelkammerdesign ist es das perfekte Werkzeug für komplexe Anwendungen und präzise Ätzaufgaben.