Gebraucht PLASMATHERM PECVD Heater #9124951 zu verkaufen

ID: 9124951
Resistance heater systems.
PLASMATHERM PECVD Heizung ist eine Art von Ätzer/Ascher für die Abscheidung von dünnen Schichten aus einer Vielzahl von Materialien auf Substraten entwickelt. Sie wird in Anwendungen wie der Herstellung von Solarzellen, der Dünnschichttransistorverarbeitung und anderen mikroelektronischen Verfahren eingesetzt. PECVD Heater ist ein hochdichter, direkter Frequenz-, HF-beheizter, chemischer Plasmatronenätzer, der für eine kostengünstige, präzise Prozesssteuerung entwickelt wurde. Es verfügt über einen mehrstufigen, parallel abgeschiedenen Prozess, der eine genaue Abscheidung einer Reihe von Materialien für verschiedene Materialien ermöglicht. PLASMATHERM PECVD Heater ist mit einem Abscheidekopf ausgestattet, der eine hohe Flexibilität beim Aufbringen von Materialien auf das Substrat ermöglicht. Der Abscheidekopf ist in der Lage, eine Reihe von Größen und Formen von Substraten zu handhaben, von flachen Platten bis zu unregelmäßigen Formen. Der PECVD-Heizer verfügt auch über eine integrierte reaktive Gasförderanlage, die eine präzise Kontrolle der Reaktionsgeschwindigkeit und der Reaktionsmedien ermöglicht. Dies ermöglicht eine zuverlässige Prozesssteuerung in komplexen Chemien wie Dotierung, Selektivität und 3D-Strukturen. PLASMATHERM PECVD Heater verfügt auch über eine Reihe von Prozessparametern, die angepasst werden können, um den Abscheidungsprozess zu optimieren. Diese Parameter umfassen Reaktordruck, Plasmaspannung, HF-Leistungspegel, Quelltemperatur, Quellenabstand, Source-to-Substrat-Abstand und Quellenleistung. PECVD-Heizung wurde auch mit Blick auf die Sicherheit entworfen, mit einem programmierbaren elektromagnetischen Verriegelungssystem, in der Lage, CAE-Betrieb bei unsicheren Bedingungen. PLASMATHERM PECVD Heater ist eine vielseitige und kostengünstige Ätz-/programmierbare Abscheidungslösung für eine Vielzahl von Dünnschicht- und Mikroelektronikprozessen. Dank einer Reihe von einstellbaren Prozessparametern und einer integrierten Reaktivgasfördereinheit ist es in der Lage, eine genaue und zuverlässige Prozesssteuerung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die PECVD-Heizung mit Blick auf die Sicherheit konzipiert und verfügt über eine integrierte Sicherheitsmaschine, um die Einhaltung der Sicherheitsvorschriften zu gewährleisten.
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