Gebraucht PLASMATHERM PK 24 #140728 zu verkaufen
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24 ist eine Präzisionsätz-/Aschemaschine für Labor- und Industrieanwendungen. Mit einem sauerstoffreichen Plasma ist dieses System in der Lage, Nuten, Vertiefungen und Oberflächenstrukturen auf Substraten wie Metallen, Keramiken und Glasmaterialien zu erzeugen. Die integrierte Software bietet einfach zu bedienende Parameter für das Ätzen und Aschen. Die mitgelieferten Werkzeuge wie Fräswerkzeuge, Bohrer und Laserschneidwerkzeuge sind hocheffizient und bieten eine lange Lebensdauer und höhere Präzision. Darüber hinaus ermöglicht PK 24 eine einfache und einfache Bedienung mit direktem Datenzugriff, Parametersteuerung, automatisierten Prozessen und Maschinenintegration. Das Gerät umfasst Dual-Vortex-Plasmaquellen, eine einzigartige, patentierte Technologie mit einer Einzug-Timing-Funktion. Die fortschrittliche Vortex Reactor Technologie ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen von Substraten und garantiert qualitativ hochwertige Produkte mit schnellen Zykluszeiten. Das eingebaute Gebläse reduziert die Ätz- und Aschezeit und bietet konstantes, stabiles Plasma für hohe Produktkonsistenz. PLASMATHERM PK 24 bietet auch wirtschaftliches Gasmanagement und kostengünstige Verbrauchsmaterialien. Seine Gasüberwachungsmaschine ermöglicht eine automatische Gaszufuhr, die einen sicheren und zuverlässigen Betrieb gewährleistet. Der Vorratsbehälter ist modular und öffenbar, um einen einfachen Wechsel von Verbrauchsmaterialien und die Verwendung verschiedener Gase zu ermöglichen. PK 24 verfügt über eine mittelgroße Kammer mit einer Arbeitsfläche von 245 x 245 mm und bietet eine große Flexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen. Im Vergleich zu alternativen Ätz- und Aschesystemen verfügt PLASMATHERM PK 24 über einen großen Arbeits- und Prozessbereich und eignet sich somit für größere Substrate. PK 24 ist auf Sicherheit und Zuverlässigkeit ausgelegt. Die Kammer und andere Komponenten sind für eine saubere und staubfreie Arbeitsumgebung sowie für Temperatur- und Gasstabilität konzipiert und bieten eine konstante Leistung im industriellen Betrieb. Darüber hinaus lösen die obere Abdeckung und die Flüssigkeitskühlung des Werkzeugs das Problem der Kondensation innerhalb der Kammer. PLASMATHERM PK 24 ist einfach zu bedienen und zu warten, so dass der Bediener auf alle notwendigen Daten und Steuerparameter zugreifen kann. Das einfach ablesbare Steuerungs- und Diagnosepanel ist für maximale Effizienz und Zuverlässigkeit ausgelegt. Darüber hinaus sind alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen und Sicherheitsmerkmale wie Sonden und Sensoren integriert, um Unfälle im Arbeitsbereich zu vermeiden. Dadurch bietet PK 24 hervorragende Sicherheit und ein sicheres Arbeitsumfeld.
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