Gebraucht PLASMATHERM PK 2440 #293604307 zu verkaufen
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ID: 293604307
Weinlese: 1981
Dual plasma and Reactive Ion Etcher (PE / RIE)
1981 vintage.
PLASMATHERM PK 2440 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die von PLASMATHERM entwickelt wurde. Es ist eine effiziente, kostengünstige Lösung zum Ätzen und Aschen von dünnen Filmen und Proben. Das System soll Präzision und Wiederholbarkeit für Produktions- und Forschungsanwendungen bieten. PK 2440 verfügt über eine proprietäre 3-Achsen-motorisierte Antriebseinheit zur Steuerung der Bühne und zur präzisen Musterpositionierung. Seine Hochgeschwindigkeitsschrittmotoren ermöglichen es der Maschine, hochpräzises Ätzen und Aschen auf dünnen Folien und Proben zu erzeugen. Darüber hinaus ermöglicht der automatisierte Mechanismus des Werkzeugs eine dynamische Probenpositionierung und Kammerreinigung. PLASMATHERM PK 2440 bietet eine breite Palette von Ätz- und Aschefunktionen. Dazu gehören Dünnschichtätzen, Aschen von dünnen Filmen und Ablösen von dünnen Filmen aus dem Substrat. Es verfügt auch über eine Kammerreinigungsoption zur Verringerung von Kammerverunreinigungen. Die Anlage arbeitet mit plasmabasierten Ätzmitteln und Aschechemie einschließlich O2, Ar, Cl2 und SF6. Der schlüsselfertige Hochgeschwindigkeitsbetrieb des Modells bietet konsistente, reproduzierbare Ergebnisse und der automatisierte Probenkammerreinigungsprozess reduziert den Bedarf an manueller Reinigung. Es verfügt auch über eine große 20,2 cm x 30,5 cm metallische Kammer mit einer 13 cm x 19 cm Ladefläche für eine breite Palette von Probengrößen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine komfortable benutzerfreundliche Oberfläche, die einen effizienten Betrieb ermöglicht. Das System bietet auch erweiterte Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines automatischen Gasabsperrventils, Überdruckbegrenzer und E-Stop, um Bediener vor Gefahren zu schützen. PK 2440 ist eine ideale Lösung für Forschungslabore und Produktionsstätten, die präzise und wiederholbare Ätz- und Aschefunktionen erfordern. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der benutzerfreundlichen Oberfläche bietet das Gerät eine effiziente und kostengünstige Lösung zum Ätzen und Aschen von dünnen Filmen und Proben.
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