Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9123968 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 720 ist ein Plasmaätzer/Ascher zum präzisen Ätzen und Aschen von fortschrittlichen Materialien. SLR 720 ist in der Lage, mit hoher Geschwindigkeit, Genauigkeit und Gleichmäßigkeit zu ätzen und zu aschen, was es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen innerhalb der Halbleiterindustrie macht. PLASMATHERM SLR 720 ist ein Hochdurchsatzgerät mit einer Standardätzrate von bis zu 800 nm/min. Es verfügt auch über eine effiziente Plasmaquelle, die Zweikammer-Motoren und einen vierkanaligen HF-Generator verwendet. Dies ermöglicht einen Hochleistungs-Ätzprozess mit geringer Ionenenergie und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit über Wafer. Darüber hinaus verfügt SLR 720 über ein erweitertes Steuerungssystem, mit dem Benutzer benutzerdefinierte Parameter eingeben und steuern können. Diese Parameter umfassen Ätz- und Ascheparameter, HF-Generatoreinstellungen und Kammerdruck. PLASMATHERM SLR 720 enthält eine einfach zu bedienende, intuitive und benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine vollständige Kontrolle des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. Es enthält auch ein 3D-Visualisierungstool, das es dem Benutzer ermöglicht, den Ätz- und Ascheprozess in Echtzeit anzuzeigen und so zusätzliche Stabilität und Gleichmäßigkeit über Wafer hinweg zu gewährleisten. SLR 720 verwendet ein trockenes Niederdruck (DLPO) -Verfahren zum Ätzen und Aschen. Dieses Verfahren nutzt eine hohe Gasströmungsgeschwindigkeit, um Ionen und reaktive Gase mitzunehmen, was höhere Ätz- und Aschedurchsätze und schnellere Verarbeitungszeiten ermöglicht. PLASMATHERM SLR 720 hat auch eine Vielzahl von erweiterten Sicherheitsfunktionen wie Gas- und Drucksicherheitsüberwachung, automatische Gasabschaltung und eine Verteilersteuerung. Damit eignet es sich für den Einsatz in einer Vielzahl von sicherheitskritischen Anwendungen. Insgesamt ist SLR 720 eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen in der Halbleiterindustrie. Mit seiner hohen Leistung, seiner hohen Geschwindigkeit und seinem präzisen Betrieb ist es eine zuverlässige Wahl für Branchen, die nach konsistenten Ergebnissen und zuverlässiger Leistung für ihre Ätz- und Veraschungsanwendungen suchen.