Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9153526 zu verkaufen
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ID: 9153526
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Aluminum chamber with load lock
Bottom electrode, 11"
MKS 286 Controller
(6) Zones heated chamber
MKS 290 Ion gauge controller
LEYBOLD 360 Turbo with 150/360 controller
ADVANCE ENERGY RFPP 5S RF Power supply
With AM5 matching network
Gas configuration:
(4) MKS 1159 MFCs (50,100,100,200 Sccm)
Operating system: Windows OS
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1996 vintage.
PLASMATHERM SLR 720 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für Anwendungen, die präzises Ätzen und Hochleistungsbetrieb erfordern. SLR 720 bietet eine Vielzahl von Ätzverfahren, darunter reaktives Ionenätzen (RIE), Ionenplattieren (IP) und Hartätzen (HE). PLASMATHERM SLR 720 ist ideal für die Verarbeitung hochwertiger Substrate und bietet optisch saubere Oberflächen. Dank der hohen Plasmaleistung bietet SLR 720 eine hervorragende Ätzleistung und eine breite Palette von Ätzbedingungen, sodass Anwender eine optimale Ätztiefe, Präzision und Musterdefinition erzielen können. Die Ätz- und Ascheprozesse werden unabhängig voneinander gesteuert und bieten die perfekten Voraussetzungen für eine ertragreiche Produktion. Zu den Innereien der Maschine gehört ein fortschrittliches Bewegungssteuerungssystem, das die genaue Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit erhöht. PLASMATHERM SLR 720 wurde entwickelt, um benutzerfreundlich und einfach zu bedienen und sicherzustellen, dass sich jeder akademische und/oder industrielle Benutzer schnell und effizient an die Maschine anpassen kann. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), um die Bedienung so einfach wie möglich zu gestalten. Das fortschrittliche Elektromagnetron-Sputtern (EMS) von SLR 720 ermöglicht es, optisch saubere Oberflächen mit überlegener Gleichmäßigkeit und Dickenkontrolle zu erzeugen. Dies macht es zu einer großen Auswahl für ein breites Anwendungsspektrum wie die Abscheidung von leitfähigen Filmen, Passivierung und Ätzen von strukturierten Substraten. Darüber hinaus verfügt PLASMATHERM SLR 720 über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Unfälle zu vermeiden. Eine extrem strenge Abgasanlage ist vorhanden, um sicherzustellen, dass die Freisetzung von Nebenprodukten des Ätzprozesses geregelt und auf einem sicheren Niveau gehalten wird. In Bezug auf Wartung und Wartung ist SLR 720 für einfach zu befolgende und schnelle Wartungsvorgänge konzipiert. Die intuitive vorbeugende Wartungsplanmaschine warnt den Anwender bei fälliger Wartung und sorgt dafür, dass jederzeit ein optimaler Betrieb erreicht wird. Abschließend ist PLASMATHERM SLR 720 ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das eine große Balance zwischen Genauigkeit, Leistung und Sicherheit bietet. Es eignet sich hervorragend für die hochwertige Substratverarbeitung und bietet eine Vielzahl von Ätzprozessen. Die intuitiveGUI und die vorbeugende Wartung machen es jedem Benutzer leicht, von seinen ausgeklügelten Funktionen zu profitieren.
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