Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9153536 zu verkaufen

Hersteller
PLASMATHERM
Modell
SLR 720
ID: 9153536
Wafergröße: 2"-8"
Weinlese: 1997
Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-8" Aluminum chamber with load lock Bottom electrode, 11" LEYBOLD 361C Turbo with 150/360 controller ADVANCED ENERGY RFPP 5S RF Power supply With AM5 matching network Gas configuration: (4) MFCs-SF6, CF4, N2, O2 With (2) N2 purges LEYBOLD D16 Roughing pump LEYBOLD D65 Backing pump NESLAB HX75 Chiller Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz 1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 720 ist ein Ätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um fortschrittliche Ätz- und Ascheprozesse effizient durchzuführen. Es kann sowohl planare als auch Mikrohainoberflächen präzise und schnell ätzen und ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen bei der Herstellung mikrogefertigter Komponenten und Geräte. Die Ausrüstung umfasst eine ultrakompakte RWE-Kammer (Rapid Wafer Etching), die für eine großflächige, effiziente Waferbearbeitung ausgelegt ist. Der patentierte Hochdruckätzer ist eine leistungsstarke Lösung zum präzisen Ätzen von Substratmaterialien. SLR 720 verfügt über mehrere Elektrodenanordnungen für eine optimale Ätzsteuerung. Es arbeitet mit einer pulsmodulierten Hochfrequenzanregung (RF) mit pulsmodulierter Stromversorgung, um gleichmäßige und variable Leistungsstufen bereitzustellen. Dies, kombiniert mit seinem fortschrittlichen elektrostatischen Steuerungssystem, gewährleistet eine präzise Kontrolle der Substratmaterialätzung und ermöglicht wiederholbare Ergebnisse. Die automatische Programmiersoftware ermöglicht eine schnelle und einfache Programmierung von Ätz- und Ascheprozessrezepten. PLASMATHERM SLR 720 kommt auch mit einer fortschrittlichen Prozessüberwachungseinheit, die Bediener Ergebnisse in Echtzeit überwachen können. Seine diagnostischen Sensoren liefern detaillierte Informationen über den Ätz- und Ascheprozess und ermöglichen eine proaktive Steuerung und Verhinderung von Prozessvariationen. Darüber hinaus bietet die automatisierte Abgasmaschine eine effiziente Steuerung von Gasen und Verunreinigungen beim Ätzen und Aschen. SLR 720 ist für das hochpräzise Ätzen von Metall- und Siliziumscheiben ausgelegt. Es kann auch zum Ätzen von Dünnschichtmaterialien wie kohlefaserverstärkten Kunststoffen und keramischen Substraten verwendet werden. Ideal für Mikrofertigungsprozesse ist das Werkzeug zuverlässig, einfach zu bedienen und kostengünstig. Abschließend ist PLASMATHERM SLR 720 ein zuverlässiger Ätzer und Ascher, der präzise, wiederholbare Ergebnisse in fortgeschrittenen Ätz- und Ascheprozessen liefert. Die automatisierten Systeme, die umfassende Diagnose und die effizienten Abgasanlagen bieten den Betreibern eine einfache und kostengünstige Möglichkeit, genaue, wiederholbare Ergebnisse zu erzielen.
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