Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9153540 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 720 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für präzisionsempfindliche mikroelektronische Anwendungen. Die von PLASMATHERM entwickelte Technologie kombiniert physikalische, chemische und mechanische Behandlungen, um Oberflächenqualität, Planarität und dauerhafte Sauberkeit sicherzustellen. SLR 720 ist eine Einkammer-Ausrüstung mit zwei unabhängigen Plasmaquellen. Die erste Quelle verwendet ein flexibles rotierendes Magnetron zur ordnungsgemäßen Materialentfernung. Die zweite Quelle verwendet einen variablen Frequenzgenerator (VFG) für den Niederdruck-Mehrfrequenzbetrieb. Ein präzise einstellbares HF-Netzteil in Verbindung mit dem VFG ermöglicht eine präzise Steuerung der Plasmaumgebung und ermöglicht anwenderdefinierte Ätzrezepte. Der Ätzprozess wird durch eine Gleichstromquelle (DC) ermöglicht, die mit einem mit einem niederfrequenten Signal vorgespannten Netzteil gekoppelt ist, was eine schnelle Anwendung der gewünschten Oberflächenbehandlung ermöglicht. Die beiden unabhängigen Plasmaquellen helfen bei der Aufrechterhaltung eines einheitlichen Ionenbeschusses über die Probenoberfläche und schaffen ein konsistentes Prozessfenster. PLASMATHERM SLR 720 enthält auch ein vollautomatisches Reinigungssystem. Diese Einheit behandelt die Kammer und die Prozesskammer sowie alle steuerbaren Komponenten vor jedem Ätzzyklus. Die In-situ-Maschine hilft nicht nur, die Kammer sauber und frei von Verschmutzungen zu halten, sondern sorgt auch dafür, dass die Plasmaquellen in ihrem optimalen Bereich arbeiten. SLR 720 kann mit automatisierten Load-Lock-Systemen integriert werden und verfügt über ein Softwarepaket, mit dem Benutzer Rezepte programmieren können, um ihre spezifischen Anforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus ist das Werkzeug auch mit einem Touch-Panel zur einfachen Überwachung und Steuerung aller Prozessparameter ausgestattet. Insgesamt ist PLASMATHERM SLR 720 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der Präzisions-Mikroelektronik-Industrie gerecht wird. Die In-situ-Reinigungsanlage, die Dual-Source-Technologie und die präzise abstimmbaren Netzteile sorgen für qualitativ hochwertige und wiederholbare Ätzprozesse mit hervorragenden Oberflächenveredelungen.