Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9156982 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 720
Hersteller
PLASMATHERM
Modell
SLR 720
ID: 9156982
Wafergröße: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8" Manual load lock Advanced energy RFPP 5S RF Power supply Match work and tuner Leybold 361C turbo with NT20 controller 4 MFCs 11" Lower electrode 13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720 ist ein anspruchsvolles Stück Ätz-/Aschetechnologie von PLASMATHERM. Es bietet eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die für das erfolgreiche Ätzen und Ausrüsten von CDs, ICs, Substraten und vielen anderen Materialien unerlässlich sind. Es ist eine vollständig enthaltene Ätz- und Ascheausrüstung, komplett mit einer eigenen eingebauten PC-Workstation, einem integrierten 16-Gas-Arsenal und einem hochgenauen Pumpsystem sowie einem ergonomischen Roboterarm. Die integrierte PC-Workstation bietet eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche, die sowohl die Fernbedienung als auch die Online-Überwachung des Geräts unterstützt. Das integrierte 16-Gas-Arsenal umfasst 7 verschiedene Gase, von Sauerstoff bis Silan, um ein optimales Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien zu ermöglichen. Die hochgenaue Pumpmaschine steuert den Gasfluss präzise und sorgt für Genauigkeit und Wiederholbarkeit in den Ätz- und Ascheprozessen. Der Roboterarm hilft außerdem beim genauen und effizienten Ätzen von Substraten in schwer zugänglichen Bereichen. Die erweiterte Hardware-Software-Konfiguration des SLR 720 ermöglicht vielseitige Ätzfunktionen. Das Werkzeug kann so programmiert werden, dass mehrere Substrate sowohl in Einzel- als auch in Mehrfachprozessen wie Echtzeit-Parameteroptimierung, Echtzeit-Scan-Steuerung, Tiefenkontrolle und Profilkorrekturen oder die Kombination dieser Prozesse geätzt werden. Darüber hinaus ermöglicht PLASMATHERM SLR 720 ein integratives Ätzen der Metallisierung zweiter Ebene, wodurch die benötigte Prozesszeit reduziert wird. PLASMATHERM Preismodell ist skalenfreundlich und somit ideal für kleine und große Ätzindustrien. Die Anlage bietet auch verbesserte mechanische und Sicherheitsfunktionen. Das eingebaute Sicherheitsüberwachungsmodell schützt Geräte und Personen vor Ausbrennen und Überlauf. Darüber hinaus verfügt das System über Notabschaltknöpfe, die eine sofortige Abschaltung und die Vermeidung möglicher Schäden ermöglichen. Kurz gesagt, SLR 720 ist eine robuste, vielseitige Ätz- und Ascheeinheit mit ergonomischem Design, hochgenauer Pumpmaschine, intuitiver PC-Workstation, 16-Gas-Arsenal, erweiterten Ätzfunktionen und integrierten Sicherheitsfunktionen. Es bietet eine kostengünstige und hocheffiziente Ätz- und Aschelösung für CD, IC und andere Substratanwendungen.
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