Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 #9382253 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 720 ist ein hochpräziser, mehrstufiger Plasmaätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von ultradünnen Filterkomponenten, Nanorobotika, MEMS/NEMS-Geräten und anderen mikroelektronischen Komponenten entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über vier verschiedene Kammern (Prozess, Vorreinigung, Lastverschluss und Ätzen/Asche), die miteinander verbunden sind, um eine präzise Plasmaätz-/Aschebehandlung mit sauberer Flüssigkeit, Gas oder Stickstoff zu ermöglichen. Die Prozesskammer ist die Hauptkammer innerhalb des Ätzers/Aschers und enthält die Plasmaquelle, HF- und DC-Stromversorgung sowie Wafersicherheitssensoren. Es verfügt auch über fortschrittliche Plasmasensor- und Ätzratenmesssysteme für eine außergewöhnliche Steuerung. Die Vorreinigungskammer ist eine eigene Kammer mit einem Hochdruck-, Umgebungstemperatur- und feuchtigkeitsarmen Prozessgas zur Reinigung und Entgasung vor dem Ätzen oder Aschen. Es ermöglicht auch eine genaue Orientierung des Wafers. Die Lastschloßkammer verbessert die Sauberkeit der Prozesskammer weiter, um einen qualitativ hochwertigeren Ätz-/Aschevorgang zu ermöglichen, indem der Prozesskammer eine Ultrahochvakuumumgebung zur Verfügung gestellt wird. Die Ätz-/Aschekammer ist die letzte Stufe der gesamten Maschine und enthält eine Reihe verschiedener Prozessgase, die auf den jeweiligen Ätz-/Ascheprozess zugeschnitten sind. Die Gasquelle umfasst typischerweise Plasmagase auf Fluorbasis wie CF4, CHF3 und CF3Br sowie Sauerstoff und andere Inertgase. Die Produktionsausbeute und Endqualität wird durch die genaue Steuerung aller Prozessparameter wie Druck, Durchfluss, Temperatur, Gasart und Substrattemperatur optimiert. Weitere Merkmale und Prozessoptionen von SLR 720 sind: automatische Dickenmessung, Bordcomputersteuerung, manuelle Prozesssteuerung, einstellbare Erkennungs- und Dielektrizitätsätzfenster, LCD-Touchscreen-Schnittstelle, zentrale Datenerfassungs-/Archivkonsole, aktive Wafer-Überwachung, Echtzeit-Anzeige. All diese Merkmale in Kombination mit dem fortschrittlichen Plasmaätz-/Ascheprozess machen PLASMATHERM SLR 720 zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von ultradünnen Filterkomponenten, Nanorobotika, MEMS/NEMS-Geräten und anderen fortschrittlichen Mikroelektronik-Komponenten.