Gebraucht PLASMATHERM SLR 730 #9124186 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 730 ist eine hochgenaue, programmierbare RF Under-Etch Asher/Etch Ausrüstung zum Ätzen und Entfernen von Metallschichten. Seine Fähigkeiten umfassen: Ätzen von Gold-, Kupfer- und Aluminiumschichten; Ätzen des Resistmusters auf Gold-, Kupfer- und Aluminiumschichten; Aschen von Photolackschichten; Anwendung von Lösungsmittel vor dem Aschen und Auto-Up-Unterstützung für die Temperaturanpassung. Die Spezialität des Systems ist, dass es entworfen ist, Proben schnell zu verarbeiten, aufgrund seiner effizienten Nutzung von HF-Leistung und der Verfügbarkeit von kurzen Pulsdauer. Die Grundeinheit von PLASMATHERM SLR-730 besteht aus einem Plasmagenerator, einem Kegelmaskenfutter und Strahlen und einer Kammer. Der Plasmagenerator liefert HF-Energie und liefert die Energie, die zum Wegätzen oder Entfernen von Photolackschichten beim Ätzen und Aschen benötigt wird. Bevel-Masken-Schlösser sind auch für die zuverlässige Vakuum-Eindämmung von Proben enthalten. SLR 730 hat auch eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die die Programmierung von Ätz- und Aschezeiten sowie Leistungs- und Lösungsmittelniveaus ermöglicht. SLR-730 hat eine Ätzrate von 1,5 bis 4,5 μ m/min und 0,75-10,0 μ m/min für Aluminium. Es hat einen Kammertemperaturbereich von 25-250 ° C und einen Leistungsbereich von 1-100 Watt. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine wählbare atmosphärische Umgebung mit Vakuum oder Druck von bis zu 10 Torr. Es bietet wiederholbare Ergebnisse mit ausgezeichneter Seitenwandätzvorhersagbarkeit aufgrund seiner konstanten Variation der Pulsdauer. Die Maschine bietet außerdem eine automatische Temperaturregelung zur Unterstützung der automatischen Übertragung, die bei der Anpassung des Sollwerts nach Bedarf für verschiedene Ätz- oder Ascherezepte hilft. PLASMATHERM SLR 730 verfügt über eine Reihe einzigartiger Sicherheitsmerkmale, die die Sicherheit des Benutzers und der Umwelt gewährleisten. Es verfügt über einen Geräuschabsorber, der akustische Geräusche minimiert, und ein integriertes akustisches Emissionswerkzeug, das akustische Pegel in Echtzeit überwacht. Außerdem steht ein feinkörniges Monitoring zur Verfügung, das den Benutzer auf mögliche Gefahren während des Ätz-/Aschezyklus hinweist. Das Modell ist auch so konzipiert, dass es im Falle eines mechanischen Ausfalls oder Stromausfalls abgeschaltet wird. Diese Eigenschaften, kombiniert mit den Leistungsfähigkeit der Ausrüstung, machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Labore, Forschung und Produktionsanlagen.