Gebraucht PLASMATHERM SLR 730 #9363419 zu verkaufen
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ID: 9363419
Weinlese: 1994
PECVD System
720 RIE (Reactive Ion Etcher)
700 Aluminum body chamber
Stand alone dual chamber 730/720 deposition and etch system
Substrate holders configured for 4"-8"
Load lock version with (2) process modules:
PECVD
RIE (Reactive Ion Etcher)
Main body:
Stainless steel skins
Windows based PC controls
ADVANCED ENERGY RFPP RF5S Power supply, 500 W-13.56 MHz
ADVANCED ENERGY AM5 Matching network with tuner
LEYBOLD D25 / Equivalent load lock pump
NESLAB HX 75 Chiller with RS232 interface to system
Electrical disconnect box: 208 V, 3 Phase, 60 Amp
Flat panel display with keyboard and mouse
Manuals
PECVD Module:
Heated chuck
WATLOW Controller
Chuck with center lift type, 11"
Optical windows for endpoint control and diagnostics
LEYBOLD D40 With 151 blower mechanical pump
MKS 290 Ion gauge controller and ion gauge
MKS TC Gauge controller
(1 or 2) Torr baratron
(4) Gas MFC's (Can add up to 4 more)
RIE Module:
Lower electrode
Shower head, 11"
Center lift type chuck, 11"
Optical windows for endpoint control and diagnostics
Soffie class III laser endpoint detector
MKS 153 Throttle valve
LEYBOLD 361C Turbo pump
LEYBOLD 150 / 360 NT Turbo controller
LEYBOLD D40BCS Mechanical roughing pump
500mT Baratron
Gas manifolds and gas line:
(4) Gas sticks / Lines
Nupro valves with bypass valves
Unions
Glands
VCR Fittings
MFCs and Gas manifolds
PLASMATHERM Dual chamber PECVD / RIE system:
(2) 4-Port manifolds
(2) Gas sticks for Nitrogen and Argon to include nupro valve
MFC and L leg to gas connection
(2) Gas sticks with bypass: (3) Nupro valves and MFC's
(2) 4 Channels valve control PCB
1/8" Tubing for the nupro valves, ~40 ft
Flow rates:
PECVD:
Nitrogen: 2000 SCCM
Argon: 500 SCCM
RIE:
BCL3: 50 SCCM
Cl2: 50 SCCM
1994 vintage.
PLASMATHERM SLR 730 ist ein professioneller Ätzer/Ascher, der für die präzise, wiederholbare und gleichmäßige Veredelung empfindlicher Substrate entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche Plasmaätzanlage, die eine Vakuumkammer zur Steuerung der Atmosphäre während der Plasmabearbeitung verwendet. Das System verwendet eine Gleichstrom-Plasmaquelle mit einheitlichen Elektroden, um reaktive Arten von Ionen und angeregten neutralen Partikeln zu erzeugen. Dadurch entsteht eine unglaublich hohe Ionendichte, was zu einer Feinstruktur von bis zu 10 nm bei einer Genauigkeitsschwankung von weniger als 1% führt. Neben seiner außergewöhnlichen Ätzkonsistenz sorgt PLASMATHERM SLR-730 für eine präzise Kontrolle der Materialätzrate. Mit seiner fortschrittlichen Programmierung User Interface (UI) können Benutzer aus einer Vielzahl von Gasarten und Fördermechanismen wählen, um die Rate des Ätzens auf dem Substrat einzuwählen. Die Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, aus 6 verschiedenen Plasmaparametern auszuwählen, einschließlich Druck, Gasfluss, Gaskonzentration und Gesamtpulszeit. SLR 730 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Verriegelungssysteme, wärmeisolierte Kammern und eine optionale Fernstart- und Abschaltfunktion. Diese stellen sicher, dass Benutzer das Gerät ohne Risiken für sich selbst oder die Umwelt bedienen können. In Bezug auf die Praktikabilität kommt die Maschine mit einem ergonomischen Design, mit einem einfachen Touch-Bedienung des Werkzeugs. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender alle Einstellungen schnell und bequem anpassen und Fortschritte bei der jeweiligen Aufgabe machen können. Ergänzt wird dies durch die abnehmbare Vakuumkammer auf Pulverbasis, die beim Substratwechsel und bei der Durchführung von Reinigungszyklen Zeit und Aufwand spart. Die Wartungsanforderungen des SLR-730 sind minimal, wobei nur periodische Reinigungszyklen erforderlich sind. Dies liegt an den langlebigen Magnetspulen des Modells, die effizienter sind und wenig Wartung erfordern. Insgesamt ist PLASMATHERM SLR 730 ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der eine großartige Kombination von Funktionen bietet. Es liefert präzise, wiederholbare und gleichmäßige Ätzergebnisse mit einer Genauigkeitsvariation von bis zu 10nm. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche des Geräts eine schnelle und intuitive Einstellauswahl, die durch die Sicherheitsmerkmale und effizienten Wartungsanforderungen des Systems ergänzt wird. Alle diese Eigenschaften machen PLASMATHERM SLR-730 eine gute Wahl für jeden Profi, der nach einem zuverlässigen und präzisen Ätzer/Ascher sucht.
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