Gebraucht PLASMATHERM SLR 730 #9363419 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 730
Hersteller
PLASMATHERM
Modell
SLR 730
ID: 9363419
Weinlese: 1994
PECVD System 720 RIE (Reactive Ion Etcher) 700 Aluminum body chamber Stand alone dual chamber 730/720 deposition and etch system Substrate holders configured for 4"-8" Load lock version with (2) process modules: PECVD RIE (Reactive Ion Etcher) Main body: Stainless steel skins Windows based PC controls ADVANCED ENERGY RFPP RF5S Power supply, 500 W-13.56 MHz ADVANCED ENERGY AM5 Matching network with tuner LEYBOLD D25 / Equivalent load lock pump NESLAB HX 75 Chiller with RS232 interface to system Electrical disconnect box: 208 V, 3 Phase, 60 Amp Flat panel display with keyboard and mouse Manuals PECVD Module: Heated chuck WATLOW Controller Chuck with center lift type, 11" Optical windows for endpoint control and diagnostics LEYBOLD D40 With 151 blower mechanical pump MKS 290 Ion gauge controller and ion gauge MKS TC Gauge controller (1 or 2) Torr baratron (4) Gas MFC's (Can add up to 4 more) RIE Module: Lower electrode Shower head, 11" Center lift type chuck, 11" Optical windows for endpoint control and diagnostics Soffie class III laser endpoint detector MKS 153 Throttle valve LEYBOLD 361C Turbo pump LEYBOLD 150 / 360 NT Turbo controller LEYBOLD D40BCS Mechanical roughing pump 500mT Baratron Gas manifolds and gas line: (4) Gas sticks / Lines Nupro valves with bypass valves Unions Glands VCR Fittings MFCs and Gas manifolds PLASMATHERM Dual chamber PECVD / RIE system: (2) 4-Port manifolds (2) Gas sticks for Nitrogen and Argon to include nupro valve MFC and L leg to gas connection (2) Gas sticks with bypass: (3) Nupro valves and MFC's (2) 4 Channels valve control PCB 1/8" Tubing for the nupro valves, ~40 ft Flow rates: PECVD: Nitrogen: 2000 SCCM Argon: 500 SCCM RIE: BCL3: 50 SCCM Cl2: 50 SCCM 1994 vintage.
PLASMATHERM SLR 730 ist ein professioneller Ätzer/Ascher, der für die präzise, wiederholbare und gleichmäßige Veredelung empfindlicher Substrate entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche Plasmaätzanlage, die eine Vakuumkammer zur Steuerung der Atmosphäre während der Plasmabearbeitung verwendet. Das System verwendet eine Gleichstrom-Plasmaquelle mit einheitlichen Elektroden, um reaktive Arten von Ionen und angeregten neutralen Partikeln zu erzeugen. Dadurch entsteht eine unglaublich hohe Ionendichte, was zu einer Feinstruktur von bis zu 10 nm bei einer Genauigkeitsschwankung von weniger als 1% führt. Neben seiner außergewöhnlichen Ätzkonsistenz sorgt PLASMATHERM SLR-730 für eine präzise Kontrolle der Materialätzrate. Mit seiner fortschrittlichen Programmierung User Interface (UI) können Benutzer aus einer Vielzahl von Gasarten und Fördermechanismen wählen, um die Rate des Ätzens auf dem Substrat einzuwählen. Die Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, aus 6 verschiedenen Plasmaparametern auszuwählen, einschließlich Druck, Gasfluss, Gaskonzentration und Gesamtpulszeit. SLR 730 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Verriegelungssysteme, wärmeisolierte Kammern und eine optionale Fernstart- und Abschaltfunktion. Diese stellen sicher, dass Benutzer das Gerät ohne Risiken für sich selbst oder die Umwelt bedienen können. In Bezug auf die Praktikabilität kommt die Maschine mit einem ergonomischen Design, mit einem einfachen Touch-Bedienung des Werkzeugs. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender alle Einstellungen schnell und bequem anpassen und Fortschritte bei der jeweiligen Aufgabe machen können. Ergänzt wird dies durch die abnehmbare Vakuumkammer auf Pulverbasis, die beim Substratwechsel und bei der Durchführung von Reinigungszyklen Zeit und Aufwand spart. Die Wartungsanforderungen des SLR-730 sind minimal, wobei nur periodische Reinigungszyklen erforderlich sind. Dies liegt an den langlebigen Magnetspulen des Modells, die effizienter sind und wenig Wartung erfordern. Insgesamt ist PLASMATHERM SLR 730 ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der eine großartige Kombination von Funktionen bietet. Es liefert präzise, wiederholbare und gleichmäßige Ätzergebnisse mit einer Genauigkeitsvariation von bis zu 10nm. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche des Geräts eine schnelle und intuitive Einstellauswahl, die durch die Sicherheitsmerkmale und effizienten Wartungsanforderungen des Systems ergänzt wird. Alle diese Eigenschaften machen PLASMATHERM SLR-730 eine gute Wahl für jeden Profi, der nach einem zuverlässigen und präzisen Ätzer/Ascher sucht.
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