Gebraucht PLASMATHERM SLR 740 / 720 #293605243 zu verkaufen

ID: 293605243
Weinlese: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE) 1999 vintage.
PLASMATHERM SLR 740/720 ist ein Ätzer/Ascher zum hochpräzisen Elektroätzen und Aschen von nanoskaligen Materialien. Diese fortschrittliche Verfahrenstechnik ermöglicht eine optimierte Steuerung von Ätz- und Ascheparametern für den selektiven Materialabtrag. Die integrierte Sensorik der Maschine gewährleistet einen präzisen und wiederholbaren Betrieb und bietet eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Herstellungs- und Forschungsanforderungen. SLR 740/720 bietet eine benutzerfreundliche Steuerung von Ätz- und Ascheparametern über eine einfache grafische Benutzeroberfläche. Der Anwender kann die Ätz- und Ascheprozessparameter leicht anpassen, um die gewünschten Ergebnisse in Bezug auf Probenprofil, Gleichmäßigkeit, laterales Ätzen und Anisotropie zu erfüllen. Das System ist auch in der Lage, mehrere Ätz- und Ascheprozesse in einem einzigen Lauf durchzuführen, was es zu einer idealen Wahl für Forschungszwecke macht. Die integrierte Sensoreinheit ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses sowie eine genaue Überwachung der Ätzraten. Die Ätzrate wird während des Ätzvorgangs in Echtzeit ermittelt und gemessen, und der Benutzer kann den Ätzvorgang in Echtzeit entsprechend anpassen. Der Ätzprozess wird auch durch einen Luftstromschutz vor geringen Umweltveränderungen geschützt, der ein Eindringen von Verstopfungen, Staub und anderen Verunreinigungen in die Prozesskammer verhindert. PLASMATHERM SLR 740/720 verfügt über eine kapazitiv gekoppelte Hochleistungsquelle mit mittlerer Frequenz, die in der Lage ist, eine überlegene Selektivität beim Ätzen und Ausaschen von nanoskaligen Materialien zu erreichen. Dadurch wird sichergestellt, daß das gewünschte Profil, die Gleichmäßigkeit und die Anisotropie in der Probe erreicht werden. Die Maschine ist in sich geschlossen und umfasst Funktionen wie eine eingebaute Vakuumkammer, eingebaute motorisierte Waferdrehung und eine eigene Stützmaschine. Die Maschine enthält auch erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein Verriegelungswerkzeug, eine Gassicherheitsabschaltung, eine Notabschaltung und ein Schlüsselschloss, um einen unbefugten Zugriff zu verhindern. Alle wichtigen Komponenten der Maschine wurden mit höchsten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards entworfen, um Haltbarkeit und überlegene Leistung zu gewährleisten. Die Maschine wird durch ein umfassendes Kundendienst- und Supportnetzwerk unterstützt, was sie zu einer idealen Wahl für Labore und Forschungseinrichtungen macht.
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