Gebraucht PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777 zu verkaufen
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ID: 293605777
Etcher
Substrate size: 100 mm
Microwave generator: 1 KW, 2.45 GHz
RF Generator plates: 500 W, 13.56 MHz
Substrate mounting: Mechanical
Temperature range: 0°C to 50°C
Gases: CHF, SF, CF, O, N, H, Ar.
PLASMATHERM SLR 770 ECR ist ein hochmoderner Ätzer/Aser, hergestellt von PLASMATECH, einem führenden Industrieanbieter von Prozesswerkzeugen und Systemlösungen. Diese moderne Ausrüstung verwendet ionisiertes Gas (Plasma), um eine Reihe von Materialien zu ätzen, zu reinigen und zu pflegen. Dazu gehören Glas, Keramik, Kunststoffe, Metalle und Halbleitermaterialien. Die PLASMAHERM SLR 770 ECR ist mit vielen technologischen Fortschritten gefüllt. Der Ätz-/Ascheprozess wird in einer kompakten Einheit zusammengefasst, was eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung ermöglicht. Es verfügt außerdem über ein Lastschloss für einen schnellen Zugang zur Ätzkammer und ein eingebautes Vakuumsystem für einen höheren Durchsatz. Darüber hinaus ist der SLR 770 für den Fernbedienungsbetrieb für den Bediener ausgelegt. Der Ätzer/aser verfügt über integrierte Diagnosefunktionen, die HF- und Temperaturanalysen sowie eine erweiterte Temperaturabbildung verwenden, um den Prozess zu optimieren. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein fortschrittliches Rezeptsystem, um Ätzqualität und Gleichmäßigkeit zu maximieren und bietet auch benutzerfreundliche Kontrollen und einfache Navigation. Die Flexibilität des PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECR ermöglicht auch eine Reihe spezifischer Ätzrezepte je nach Material. Dies kann bequem mit der manuellen Gaszufuhr und ihren einstellbaren Prozessparametern wie Strom und Spannung, Spannungsmischung, Vorabstimmzyklus und Plasmaquelle erreicht werden. Der Ätzer/aser verfügt zudem über einen sehr hochauflösenden LCD-Monitor und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die visuelles Feedback liefert, was die Bedienung vereinfacht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine integrierte Heizung, Gasflusssteuerung und automatisierte Kalibrierung sowie Ferndiagnose- und Steuerungsfunktionen für mehr Zuverlässigkeit und Prozesssicherheit. Das Gerät verfügt zudem über integrierte Sicherheitsfunktionen wie ESD-Schutz und Vakuum-Überdruckbegrenzung. Auch der PLASMAHERM SLR 770 ECR ist modular aufgebaut, so dass er einfach in bestehende Ätzsysteme integriert und verwendet werden kann. Es hat auch eine sehr wettbewerbsfähige Kosten, so dass es eine gute Wahl für Organisationen, die ihre Ätzprozesse zu erhöhen.
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