Gebraucht PLASMATHERM SLR 770 ICP #9363201 zu verkaufen
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ID: 9363201
Wafergröße: 3"-6"
Weinlese: 1997
ICP Dry etcher, 3"-6"
RFPP AM-5 RF Match
ISA JOBIN YVON Sofie type LEM-1-CC controller
(4) Mass flow controllers
1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 770 ICP ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der für präzise Ätz- und Ascheprozesse entwickelt wurde. Es nutzt eine modulare Plattform, um eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen bereitzustellen. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um einen kontinuierlichen, wiederholbaren Prozess mit minimalen Wartungs- und Wiederholungsfehlern zu ermöglichen. PLASMATHERM SLR-770 ICP ist ein Zweikammer-Ätzer/Ascher, der ein Niederdruck-isotropes Trockenplasma zum Ätzen und ein Hochdruck-Trockenplasma zum Aschen verwendet. Das Niederdruckplasma wird vom Plasmagenerator geliefert und besteht aus Sauerstoff, Stickstoff und Argon. Das Hochdruckplasma verwendet ein trockenes Funkenmuster, um einen Niederspannungslichtbogen zu erzeugen, wodurch ein verdampftes Ascheadditiv entsteht. Die beiden Plasmen werden dann in einer Isolatorkammer zusammengefaßt und gespeichert. Das Verbrennen des Materials wird vom PC während der Vorverarbeitungsphase eingeleitet und während des Ätz- oder Aschevorgangs fortgesetzt. Da das Material durch die Kombination der beiden Plasmen geätzt oder ascht wird, wird die Kammer dann mit Stickstoff gespült, um etwaige Nebenwirkungen zu vermeiden. SLR 770 ICP wurde entwickelt, um mit ätz-/aschebeständigen Materialien wie Halbleiter- oder dielektrischen Substraten zu arbeiten. Der Ätzer/Ascher ist so konzipiert, dass er präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse bereitstellt sowie eine gleichbleibende Leistung garantiert. Die Kammer ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter: Hochtemperaturabschaltung, Erdfehlerunterbrecher (GFI), Steuerschaltung und Hochspannungsisolierung. Der hochpräzise Ätzer/Ascher nutzt die fortschrittlichste VHF-Arc Plasma Technologie und ist vollständig computergesteuert. Dadurch können verschiedenste Prozessparameter eingestellt und gespeichert werden, darunter: Ätz- und Aschezeiten, Temperaturen und Drücke. Das Verfahren wird mit einer Reihe von Sensoren quantifiziert und gemessen, wie: Quarzoszillatoren, Temperatur- und Drucksensoren. Dadurch können kontrollierte und wiederholbare Prozesse über mehrere Substrate durchgeführt werden. Das große LCD-Display und die intuitive Benutzeroberfläche machen SLR-770 ICP zu einer einfach zu bedienenden Maschine. Zusätzlich kann die Maschine mit einer Prozesskammer-Monitorkamera ausgestattet werden, so dass der Benutzer die Prozesskammer in Echtzeit überwachen kann. Dies bietet eine zusätzliche Schicht der Qualitätssicherung, die sicherstellt, dass Prozesse korrekt durchgeführt werden und der Prozess auf nachfolgenden Substraten wiederholt wird. Insgesamt ist das hochpräzise PLASMATHERM SLR 770 ICP als zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für Ätz- und Ascheprozesse konzipiert. Die modulare Plattform, die fortschrittliche VHF-Lichtbogenplasma-Technologie, die Hochspannungsisolierung, die Benutzerfreundlichkeit und die hohe Präzision machen PLASMATHERM SLR-770 ICP zu einer attraktiven Wahl für Anwender, die eine zuverlässige Ätz-/Ascherlösung suchen.
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