Gebraucht PLASMATHERM SLR 770 RIE #293753769 zu verkaufen

Die PLASMATHERM SLR Serie ist eine trockene Ätz- und Ascheausrüstung, die eine präzise Ätz- und Ätzratensteuerung für eine Vielzahl von Halbleitermaterialien ermöglicht. Das System verfügt über eine leistungsstarke Seitenwand und eine anisotrope Ätzfähigkeit, wodurch es ideal für das Durchdringen von Waferätzen, das Strukturieren von dünnen Filmen und die Herstellung kleiner Merkmale auf Halbleiterbauelementen geeignet ist. Das Gerät verfügt auch über eine große Auswahl an Quelltechnologien zur Verbesserung von Ätzprozessen, einschließlich Plasma- und reaktiver Ionenätzung und Niederdruck-chemischer Dampfabscheidung. Die SLR-Serie bietet eine einfach zu bedienende, vollautomatische Maschine mit benutzerfreundlichen grafischen Menüs und Touchscreen-Schnittstellen. Das Werkzeug umfasst eine integrierte Vakuumanlage, einen Prozessroboter für Substrat- und Wafer-Handling und bietet eine Vielzahl von Ätzprozessen zur Ätzselektivität und Ätzratensteuerung. Es bietet hochpräzise Ausrichtung von Substraten, schnelles Resist-Ätzen und Mustertransfer mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die PLASMATHERM SLR-Serie umfasst auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich simultaner Multi-Parameter-Steuerung, Prozessnachverfolgbarkeit und High-End-Software mit Prozessmodellierung und Simulationsfähigkeit. Das Modell integriert auch fortschrittliche messtechnische Fähigkeiten zur Überwachung und Optimierung der Prozesswiederholbarkeit und Prozesskontrolle und bietet eine Reihe spezialisierter Beschichtungen und Härtungsbehandlungen für verbesserte Substrateigenschaften und verbesserten Schutz vor Ätz- und Abscheidungsprozessen. Die Ausrüstung enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen zum Schutz von Benutzern und Substraten. Dazu gehören mehrere Kühlmittelsysteme, Ozonmanagement, automatisierte Prozessüberwachung und Überdruckschutz. Das System bietet auch eine Vielzahl von Abgasmanagement- und Filtertechnologien, einschließlich Filterlebensüberwachung, Reinigungs- und Wartungsverfahren an Bord und intelligente Berichtsfunktionen, um Prozessinformationen für zukünftige Referenzen zu speichern. Die SLR-Serie ist eine leistungsstarke, zuverlässige und innovative Ätz- und Ascheeinheit. Es bietet ausgezeichnete Ätzergebnisse mit verbesserter Ätzselektivität, Prozesswiederholbarkeit und Prozesskontrolle und bietet verbesserte Sicherheitsfunktionen und zusätzliche messtechnische Funktionen. Diese Maschine ist eine ideale Wahl für eine breite Palette von Ätz- und Aschebedürfnissen, von der Präzisionsmusterung bis zu Geräten im nahezu atomaren Maßstab.