Gebraucht PLASMATHERM SLR 770 #9280190 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 770 ist eine hochmoderne Trockenätz- und Aschemaschine, die für den Einsatz in der Halbleiterindustrie zum Präzisionsätzen und Aschen entwickelt wurde. Das System basiert auf der PGD-Technik (Pulsed Glow Discharge) und wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Ätzparameter bereitzustellen. Das Gerät wurde entwickelt, um in einem breiten Spektrum von Ätz- und Ascheanwendungen eingesetzt zu werden, einschließlich Waferätzen, Metallätzen, Isolierätzen und Nassätzen mit verschiedenen Gasgemischen. Die Maschine verfügt über eine leistungsstarke 13,56-MHz-HF-Stromversorgung, einen integrierten Temperaturregler und mehrere max. 80-W-Gaspistolen, wodurch sie für eine Vielzahl von Prozessgasen für verschiedene Ätz- und Ascheanwendungen geeignet ist. Die Prozessgasanlage des Werkzeugs ist in der Lage, zahlreiche Gemischgaskombinationen zur präzisen Prozesssteuerung einzuspritzen. Das Modell kann bis zu 8 aufeinanderfolgende Prozessschritte sowie bis zu 5 unabhängige Gasstromregler unterstützen, die für Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff, Argon, FREA3, Fluorchlorkohlenwasserstoff oder andere Arten von inaktiven Gasen geeignet sind. Mit Unterstützung von bis zu 8 Kombinationen können Anwender problemlos optimierte Prozessparameter für viele Ätz- und Ascheanwendungen erstellen. SLR 770 verfügt über einen leistungsstarken 24/7 wartungsfreien Betrieb, der Ausfallzeiten und längere Wartungsintervalle eliminiert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die Rezeptur- und Laufzeitmanagement, statistische Prozesssteuerung (SPC) und Prozessparametervisualisierung umfasst und den Anwendern ein umfassendes Steuerungssystem für ihre Ätz- und Ascheprozesse bietet. Im Zentrum von PLASMATHERM SLR 770 steht das SLR-20X fortschrittliche Vakuumpaket. Dieses fortschrittliche Vakuum-Paket verfügt über bis zu III bis IV Grad Vakuum und wurde entwickelt, um eine saubere Ätzumgebung zu produzieren. Das SLR-20X Paket verfügt auch über eine flache obere Kammer, um Materialansammlungen zu verhindern, zusammen mit konstanten HF-Anpassungsnetzwerken, die präzise und wiederholbare Ätzergebnisse gewährleisten und die Ätzzeit reduzieren. SLR 770 ist eine gute Wahl für jede Ätz- und Ascheanwendung. Diese erweiterte Einheit ist einfach zu bedienen und bietet zuverlässige und wiederholbare Prozessparameter für viele Arten von Ätz- und Ascheanwendungen. Mit fortschrittlichen Funktionen wie leistungsstarker HF-Stromversorgung, integriertem Temperaturregler und mehreren max. 80-W-Gaspistolen können Benutzer sicher sein, dass sie eine Maschine haben, die die höchste Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet, wodurch sie die perfekte Wahl für jeden Ätz- und Ascheprozess ist.