Gebraucht PLASMATHERM SLR 770B #9302637 zu verkaufen
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ID: 9302637
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1998
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE), 4"
With 6" kit
Etching silicon uses photoresist mask
Gasses:
Argon for plasma
Sulfur Hexafluoride (SF6) for Silicon etching
Octafluorocyclobutane (C4F8) for passivation layer
Oxygen (O2) for chamber clean
Nitrogen (N2) for venting
1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 770B ist eine einzigartige Ätz- und Aschemaschine, die die Prozesse des Ätzens und des Aschens in einer einzigen Plattform kombiniert. Dieses System verwendet eine proprietäre Plasma-Therm Pro- Lift™ Technik, um ein höheres Maß an Präzision und Wiederholbarkeit sowie erhebliche Kosteneinsparungen zu erreichen. Durch die Verwendung von HF- und DC-Plasmaätz- und -veraschungsprozessen ist das Gerät ideal für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Als Beispiel wird diese Technik verwendet, um das Ätzprofil in einer inhomogenen Maske zu steuern. Die Standard-SLR- 770B-Maschine bietet eine offene Ladeposition, die bordeigene Nassätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Dieses Werkzeug kann auch eine breite Palette von Substraten aus metallischen oder Kunststoff-basierten Materialien für mehr Vielseitigkeit aufnehmen. Die Maschine ist auch mit einer fortschrittlichen Verschluss- und Hebevorrichtung entwickelt, die ein optimales Ätzfenster bietet, um eine einheitliche Ätztiefe, Profilsteuerung und Wiederholbarkeit zu fördern. Darüber hinaus umfasst das Modell auch eine Stickstoffversorgung zur Verringerung von Kontaminationen und Oxiden beim Plasmaätzen und Aschen. Das direkte Antriebsfördersystem liefert konsistente und anpassbare Ätz- und Aschegeschwindigkeit für maximale Sicherheit und Effizienz. Die Temperaturkontrollfunktionen von PLASMATHERM SLR 770B gewährleisten auch einen effizienten, qualitativ hochwertigen und sicheren Ätz- und Ascheprozess, der frei von Partikelverunreinigungen ist. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Zubehör wie Shuttle-Platten, Sockel, Aufzüge und Masken, um die anspruchsvollsten Ätz- und Aschebedürfnisse zu erfüllen. SLR- 770B wurde entwickelt, um eine breite Palette von Produktionsanforderungen zu erfüllen. Es bietet die Fähigkeit, Nitridätzen, Ätzen von tiefen Siliziumgräben oder kleinen hochauflösenden Merkmalen und Aschen von organischen Rückständen oder Metallen durchzuführen. Die Maschine bietet zudem schnellere Drehzeiten und sichere Wiederholbarkeit sowie reinraumsichere Operationen. Die Pro- Lift™ Fenstertechnik fördert die Gleichmäßigkeit und hervorragende Wärmedämmung, was die Wiederholbarkeit und Qualität des Prozesses weiter erhöht. PLASMATHERM SLR 770B eignet sich perfekt zum Ätzen oder Bespülen von hochpräzisen Systemen aus Substraten in Abmessungen von 5 bis 500 mm. Sein breites Spektrum an Sicherheitsmerkmalen sorgt für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb. Das Werkzeug ist ISO 9001 zertifiziert und eignet sich perfekt für diejenigen, die konsistente, hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse benötigen. Mit wettbewerbsfähigen Preisen ist SLR- 770B eine ideale Investition für diejenigen, die ein Ätz- und Aschenbestandteil benötigen.
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