Gebraucht PLASMATHERM SLR/ECR #9123962 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR/ECR ist ein Ätzer/Ascher, der auf Präzision und Wiederholbarkeit in Halbleiterherstellungsprozessen ausgelegt ist. Hergestellt wird es von PLASMATHERM, einem führenden Anbieter von Anlagen und Lösungen für verschiedene Plasmaprozesse. Der SLR/ECR wird für verschiedene Ätz- und Ascheprozesse eingesetzt und hat eine optimale Ätz- und Ascheleistung bei geringer Verschmutzung, dank seiner Kombination aus Einzelwafer- und Chargenverarbeitung. PLASMATHERM SLR/ECR ist ideal geeignet für eine Vielzahl von Wafergrößen aus verschiedenen Formen und Materialien und bietet eine breite Palette von Betriebstemperaturen; bis zu 1300 ° C. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Präzisionsbewegungsausrüstung und einem Fernsichtsystem ausgestattet, so dass Benutzer den Prozess in Echtzeit überwachen und ggf. Anpassungen vornehmen können. Die Remote-Vision-Einheit bietet auch eine Fernbedienungsschnittstelle, die es Benutzern ermöglicht, die Ätz- und Ascheprozesse von einem entfernten Standort aus zu überwachen und zu steuern. Das SLR/ECR verfügt über eine fortschrittliche Gasliefermaschine, die präzise und stabile Strömungen und Durchflussmischungen ermöglicht und präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse ermöglicht. Das Tool bietet auch eine Reihe von eingebetteten Temperatursensoren, um konsistente Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Die Temperatursensoren geben dem Anwender auch eine schnelle Rückmeldung über die thermischen Verhältnisse innerhalb der Bearbeitungskammer und verhindern eine Über- oder Abkühlung des Prozesses. Darüber hinaus verfügt PLASMATHERM SLR/ECR über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um Anwender und Komponenten während der Verarbeitung zu schützen. Es ist mit einem Sicherheitsverriegelungsmechanismus ausgestattet, um eine versehentliche Exposition gegenüber Gefahrstoffen zu verhindern, während das Fernsichtgerät auf scharfe Bewegungen oder abrupte Druckänderungen überwacht wird. Ein UV-absorbierendes Fenster mit Schutzabdeckung schützt Benutzer vor potentieller UV-Strahlung. PLASMATHERM SLR/ECR wurde entwickelt, um die höchsten Standards der Präzision und Wiederholbarkeit in Halbleiterherstellungsprozessen zu erfüllen und ist ideal für Ätz- und Ascheprozesse auf verschiedenen Materialien und Wafergrößen. Sein fortschrittliches Gasliefermodell, Fernsichtgeräte, Temperatursensoren und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen.