Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 760 #9314655 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS 760 Ätzer/Ascher von UNAXIS ist eine fortschrittliche Technologiekammer für Plasmaätz- und Ascheprozesse. Durch die Schaffung einer hochreinen Umgebung in einer geschlossenen Kammer bietet UNAXIS 760 eine zuverlässige und wiederholbare Mikroverarbeitung. Dieser präzise Nassätzer und Ascher verwendet ein- und/oder zweifrequente Hochfrequenzleistungsquellen, um hohe Wiederholbarkeit und präzise Ätz- und Ascheanwendungen zu ermöglichen. PLASMATHERM 760 hat eine thermisch isolierte Ätz- und Aschekammer mit einem variablen Betriebsdruck zwischen 0,1 bis 1 Torr und Temperaturen zwischen -20 bis 100 ° C. Die hochpräzisen Ätzprozesse in 760 werden durch einen HF-Vorspanngenerator und ein fortschrittliches Prozesssteuermodul ermöglicht. Eine verstellbare Klammerabdeckung, die bis zu 250 mm Durchmesser haben kann, bietet eine einfache Installation und Entladung der Probe. Das Gerät ermöglicht eine Vielzahl von anisotropen und isotropen Ätzprozessen und optimale Ätzraten für Silizium, Siliziumdioxid, Polyimid und andere Materialien. PLASMATHERM/UNAXIS 760 umfasst erweiterte Sicherheitsvorkehrungen wie automatisierte Gassicherheitsabschaltungen, Sicherheit der Abgasanlage, Erkennung von Prozessdruckausfällen und Überstromabschaltung. Die Kammer verfügt außerdem über Ozon- und CO2-Wäscher, die eine hohe Wiederholbarkeit und eine geringe Schmutzkammer ermöglichen. Die Lader und Robofeatures der Einheit ermöglichen ein flexibles und automatisches Wafer-Handling. Eine Roboterzelle auf UNAXIS 760 kann von mindestens 4 auf maximal 8 Kassettensteckplätze erweitert werden, wodurch eine automatisierte Scan- und Ätzverarbeitung von Wafer-Chargen auf dem Gerät ermöglicht wird. Die erweiterte ChamberView-Technologie ermöglicht den Fernzugriff auf die Kammer und ermöglicht es Benutzern, die Parameter der Kammerkontrolle zu überwachen, Alarme zu empfangen und Befehle von jedem Ort aus zu senden. Die offene Windows-basierte Plattform Monitor-Software ist eine bequeme und benutzerfreundliche Plattform zur Überwachung, Steuerung und Dokumentation von Ätzprozessen. Insgesamt ist PLASMATHERM 760 von PLASMATHERM eine effektive und effiziente Lösung für hochpräzise Ätz- und Ascheanwendungen. Mit seinen hochpräzisen Steuerungen, automatisierten Wafer-Handhabungsfunktionen, erweiterten Fernzugriffsfunktionen und seinem ausgeklügelten Kammerdesign ist 760 eine ideale Wahl für verschiedene Ätzanforderungen.