Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #293695530 zu verkaufen

ID: 293695530
Weinlese: 1999
System 1999 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 Series ist ein hochmoderner, plasmabasierter Ätzer/Ascher für die Batch-Verarbeitung integrierter Schaltungen. UNAXIS 790 Series wurde entwickelt, um überlegene, zykluszeitoptimierte Produktionsmöglichkeiten zum Ätzen von Mikrostrukturen und Dünnschichtmaterialien für eine breite Palette von Branchen wie Automobil, Displays, Industriesteuerung, Medizin, 3D-Druck und Unterhaltungselektronik anzubieten. Die PLASMATHERM 790 Serie verfügt über eine große Kammergröße von 93 cm x 61 cm und kann bis zu vier Substrate mit einer Größe von bis zu 8 Zoll aufnehmen. Die Flexibilität der 790-Serie ermöglicht es dem Ätzer, eine Vielzahl von Materialien aus mehreren Metallen, Halbleitern und Polymeren wie Aluminium, Kupfer, Galliumarsenid, Polyimid, Polysilizium und Silizium zu verarbeiten. Die 790 ist in der Lage, Substrate zwischen 1mm und 50micron in der Dicke zu verarbeiten. Die PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie verfügt über eine Lastverriegelungseinrichtung für den schnellen Austausch von Substraten und einen Substrattisch, der einen einheitlichen Ätzprozess für mehrere Substrate gewährleistet. UNAXIS 790 Series ist in der Lage, bis zu 150 Ätzrezepte zu verarbeiten, um Anwendern ein umfangreiches Angebot an Ätz-, Asche- und Strippfunktionen zu bieten, und bietet ein automatisiertes Innenwandreinigungssystem, das Verunreinigungen zwischen Ätzrezepten reduziert. Die überlegene Kontrolle und Präzision, die die PLASMATHERM 790-Serie bietet, wird durch eine benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglicht, die es den Betreibern ermöglicht, den Ätzprozess in Echtzeit mit hochgenauen Messgeräten zur Messung von Druck, Kammertemperatur und HF-Leistung und Echtzeit-Rezeptsteuerung zu überwachen. 790 Serie verfügt auch über eine fortschrittliche Isolierungssteuereinheit, um Partikelverunreinigungen zu reduzieren und konsistente, zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Die Wartungsanforderungen für die PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie sind minimal, da die Maschine mit einem Hochleistungsfiltrationswerkzeug mit einer Ergänzungsabzugspumpe ausgelegt ist, um eine maximale Filtrationseffizienz zu gewährleisten. Mit einer präzisen Sicherheitseinrichtung, die Störungen erkennen kann, hält die UNAXIS 790 Serie den Ätzprozess sicher und zuverlässig. Die PLASMATHERM 790 Serie ist ein Ätzmodell der nächsten Generation, das umfangreiche Fähigkeiten, hervorragende Qualitätsergebnisse und schnelle Zykluszeiten für Ihre Produktionsanforderungen bietet. Durch den Einsatz der neuesten Plasmatechnologie bietet die 790 eine verbesserte Prozesskontrolle und Flexibilität bei gleichzeitig geringen Wartungsanforderungen und ist damit eine konkurrenzlose Ätzlösung für eine Vielzahl von Branchen.
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