Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9225839 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie von Plasmaätzern/Ascher ist entworfen, um die Anforderungen der Halbleiterherstellung zu erfüllen. Es verfügt über eine bewährte Erfolgsbilanz bei der Erzielung von hochpräzisen Plasmaätzen und -veraschen mit Anwendungen für anwendungsspezifische integrierte Schaltungen (ASIC) integrierte Schaltung (IC). Die UNAXIS 790 Serie verfügt über ein verzerrungsarmes Design mit einer einzigartigen einheitlichen Plasmaverteilungstechnologie. Dies gewährleistet eine hohe Ätz- und Aschegenauigkeit auch für die anspruchsvollsten Formfaktoren und Anwendungen. PLASMATHERM 790 Serie ist aus Edelstahl gefertigt und verfügt über branchenführende Technologie für sauberen Betrieb und hochpräzises Ätzen. Eine hocheffiziente ICP-Stromversorgung, fortschrittliche Kühlgeräte und unabhängige Gasversorgungssysteme bieten eine robuste, zuverlässige Plattform für Ihre Ätzanforderungen. 790 Serie ist mit High-End-Kamera für genaue Wafer-Inspektion und eine Touch-gesteuerte Panel-Schnittstelle für einfache Bedienung und die weitere Verbesserung des Ätzprozesses ausgestattet. Das einstellbare optische System, gekoppelt mit der hochauflösenden Bildgebung, ermöglicht hochpräzise Ätzwerkzeuge für jeden Formfaktor und jede Anwendung. PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie kommt mit einer Vielzahl von Anwendungen und Ätzmöglichkeiten, einschließlich reaktives Ionenätzen, Oxidätzen und Chemie. Der reaktive Ionenätzprozess verwendet eine Kombination von Chemikalien und Ionen, um genaue Ätzergebnisse bei geringer Oberflächenschädigung zu erzielen. Beim Oxidätzen wird eine Oxidschicht zum schichtspezifischen Ätzen verwendet, die eine präzise Steuerung eines Ätzmusters ermöglicht. Die Chem-Ätzfunktion der UNAXIS 790 Serie wird für Hochdurchsatzätzen verwendet und arbeitet schnell, um genaue Ergebnisse zu erzielen. PLASMATHERM 790 Serie ermöglicht auch Prozess- und Werkzeugüberwachungsfunktionen, die eine Fehlerbehebung und Leistungsbeurteilung ermöglichen. Dies bietet eine einfach zu bedienende und zuverlässige Plattform sowohl für die Prozessüberwachung als auch für die Prozessbewertung. Mit der Fähigkeit, Aspekte wie Kammerdruck, Gasfluss, HF-Leistung und die Ätz-/Aschegeschwindigkeit zu überwachen, können Benutzer konsistente, qualitativ hochwertige Ätzergebnisse gewährleisten. 790 Serie bietet eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, um einen genauen Ätzprozess zu erhalten, wie Druckregelung, Temperaturregelung und Kammerspülung. Die Druckregelung gewährleistet eine gleichmäßige Atmosphäre in der Kammer, während die Temperaturregelung eine optimale Ätz- und Ascheleistung gewährleistet. Die Kammerspülung hilft, die Kammer sauber zu halten, indem unerwünschte Partikel und Materialien entfernt werden. Schließlich umfasst die PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie auch eine fortschrittliche Sicherheitseinheit, die potenzielle Gefahren überwacht und das Unfall- und Schadensrisiko reduziert. Die UNAXIS 790 Serie bietet eine zuverlässige Plattform zum Ätzen und Veraschen in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Das verzerrungsarme Design, die ICP-Stromversorgung, fortschrittliche Kühl- und Gaszufuhrsysteme sowie eine Reihe von Ätz- und Überwachungsfunktionen arbeiten zusammen, um präzise Effekte und konsistente Ergebnisse zu erzielen. Qualitätssicherung und Sicherheit werden berücksichtigt, um eine zuverlässige Maschine für Ihre Ätzbedürfnisse bereitzustellen.