Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9359353 zu verkaufen
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ID: 9359353
Reactive Ion Etcher (RIE) system
NESLAB HX-75 Chiller
EWARDS QDP40 Pump.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 Serie von Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanlage für Ätz- und Ascheanwendungen. Dieses etcher/asher System verwendet eine Kombination von Doppel-Frequenzmikrowelle Plasmatechnologie und hochauflösende Temperaturkontrolle für das optimale Ätzen und die ashing Leistung. UNAXIS etcher/asher unterstützt sowohl die Stapelverarbeitung als auch einzelne Waferprozesse beim Ätzen und Aschen, sodass der Benutzer schnell zwischen Ätz- und Ascheprozessen wechseln kann. Das Gerät ist mit einer fortschrittlichen Druckkontrollmaschine entwickelt, um eine optimale Ätz- und Ascheleistung zu gewährleisten. Dieses Tool hilft nicht nur, eine hohe Genauigkeit zu erhalten, sondern bietet auch Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit. PLASMATHERM Ätzer/Ascher ist mit einer leistungsstarken Inertgaspumpe ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, Kammerdruck und Temperatur effektiv zu steuern, um den Ätz-/Ascheprozess zu optimieren. Dieses Modell hilft auch, die Leistung des Prozesses zu verbessern, indem es den Aufbau von Hintergrundgas minimiert. Das Gerät ist auch mit einem Temperaturregler ausgestattet, um eine präzise kontrollierte Umgebung innerhalb des Ätzers/Aschers zu erhalten und die Ätz- und Ascheleistung zu verbessern. PLASMATHERM/UNAXIS Ätzer/Ascher ist für anpassbare Endpunktsteuerung (EPC) konzipiert, um präzise Ergebnisse für jeden Ätz- und Ascheprozess zu gewährleisten. Der EPC ermöglicht es dem Benutzer, Parameter wie die Ätzzeit und die Temperatur sowie den Leistungspegel für jeden Prozess einzustellen. Dies ermöglicht eine bessere Kontrolle der Ätz- und Ascheleistung und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit. UNAXIS Ätzer/Ascher kommt auch mit erweiterten Sicherheitsfunktionen wie einem Verriegelungssystem, um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten, und eine Türverriegelung, um unbefugten Betrieb des Geräts zu verhindern. Die Maschine wurde entwickelt, um die höchsten Sicherheitsstandards in der Halbleiterindustrie zu erfüllen, um vor Unfällen und Verschlechterung der Prozessleistung zu schützen. Insgesamt ist die UNAXIS 790 Serie ein fortschrittliches Ätz-/Aschermaschinen-Tool, das Hochleistungsätz- und Ascheergebnisse liefert. Die Anlage wurde entwickelt, um präzise, reproduzierbare Ergebnisse, eine breite Palette von Endpunktsteuerungsfunktionen und fortschrittliche Sicherheitsfunktionen zu liefern und ist somit eine ideale Wahl sowohl für die Produktion als auch für die forschungsbasierte Verarbeitung.
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