Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 #293597269 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist ein automatisierter Ätzer und Ascher. Es ist für das Ätzen und Aschen von Substraten bis zu 150 mm Durchmesser mit Hochfrequenz (RF) Energie ausgelegt. Es eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen wie Waferätzen, Oberflächenreinigung, Lithographie und mikroelektronische Geräteherstellung. UNAXIS 790 verfügt über eine einfach zu bedienende Schnittstelle und ein vollautomatisches Prozesssystem. Sein fortschrittlicher Prozesssteuerungsalgorithmus sorgt für gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse über die Substratoberfläche. Die Kammer kann mit einer 30W HF-Stromquelle geblitzt werden und kann auch auf einen niedrigeren Leistungspegel (200W) eingestellt werden, um die Lebensdauer der Kammer zu verlängern. Die Plattentemperatur kann zwischen 100 und 400 ° C eingestellt und der Druck innerhalb der Kammer zwischen 0,1 und 1,0 mbar eingestellt werden. Die Substrattemperatur kann auch überwacht und eingestellt werden. Die Prozessparameter wie Substratabscheidungszeit, Ätzrate und Substrattemperatur können einfach eingestellt und eingestellt werden. Die Prozessgase und Konzentrationen können ebenfalls gesteuert und PLASMATHERM 790 entweder für trockene Prozessgase oder flüssige Plasmen konfiguriert werden. Es stehen verschiedene Gas- und Flüssigkeitskombinationen zur Verfügung, darunter O2 und XeF2, H2/SF6, SF6/D2, Ar/CF4/CO2 und Ne/CO2. 790 verfügt über ein integriertes System zur Prozessüberwachung und Datenerfassung, das wichtige Prozessinformationen wie Temperatur, Druck, Dauer und HF-Leistung aufzeichnet. Diese Daten können in Echtzeit angezeigt werden, was eine schnelle und einfache Prozessoptimierung ermöglicht. Seine Multi-Mode-Steuerung verdoppelt die Effizienz der Batch-Verarbeitung, was zu einem höheren Durchsatz führt. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale sorgen für Sicherheit und Einhaltung der geltenden Sicherheitsvorschriften. PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist eine zuverlässige und effiziente Ätz- und Aschelösung für Forschung und Industrie. Die präzise Prozesssteuerung, das automatisierte Wartungssystem und die erweiterten Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung sorgen für qualitativ hochwertige Ergebnisse bei minimalem Eingriff des Bedieners.