Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9116459 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist eine Plasmaätz- und Aschemaschine, die speziell für die Herstellung hochauflösender MEMS-Teile entwickelt wurde. Das System verfügt über eine geschlossene Schleifeneinheit, um höchste Ätz- und Aschequalität zu gewährleisten, was zu Produkten führt, die präzise geformt sind und extrem kleine Eigenschaften aufweisen. Der Ätzer verfügt über eine mehrachsige Waferübertragungsmaschine, die eine präzise Handhabung und Positionierung des zu ätzenden Wafers ermöglicht. Es verfügt auch über ein Robotertransferwerkzeug zur effizienten und menschenfreien Beladung des Wafers und Entladung des Endprodukts. Das Ätzgut verwendet ein Standard-Prozesssteuerungsmodell von CliFlow und Software, das eine einfache und genaue Prozesskontrolle über Ätz- und Aschezeiten ermöglicht. Die magnetisch verbesserte HF-Energiequelle liefert mehrere verschiedene Leistungsstufen, was es sehr effizient macht, verschiedene Ätzprofile auf dem Wafer zu erstellen. Die Geräte können auch abgestimmt werden, um verschiedene Profile des Ätzens und des Aschens zu erstellen. UNAXIS 790 verwendet patentierte Technologie, um eine Abgasanlage für einen starken Abgasstrom und einen optimierten Prozessdurchsatz zu schaffen. Die zu ätzenden Wafer werden in eine Vakuumkammer mit niedrigem Druck und hoher Temperatur im Bereich von 75 bis 2,75 Torr eingebracht. Die magnetisch verstärkte HF-Quelle ist dann für die Erzeugung des hochenergetischen Plasmas verantwortlich, das dann den Wafer weiter ätzt und ascht. Anschließend wird das geätzte Material gesammelt und abgeführt. Das Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter Trocken- und Nassverfahren, hartmaskenkompatible, variable Druckfähigkeit, Präzisions-Wafer-Handhabung und mehrere Prozesssteuerungsfunktionen. Damit ist die Maschine eine hocheffiziente und zuverlässige Lösung für die Herstellung hochauflösender MEMS-Produkte. PLASMATHERM 790 bietet ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und Produktausbeuten. Das Werkzeug ist auch so konzipiert, dass es in jede Serienumgebung passt. Alle Prozessparameter, wie Druck, Temperatur und Spannung, werden von der Anlage automatisch überwacht und gesteuert, wodurch höchste Prozessqualität gewährleistet wird. Auf diese Weise kann auch ein hochpräzises Ätzen/Aschen von Wafern hergestellt werden.