Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667 zu verkaufen
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ID: 9156667
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
PECVD system, 8"
Non-load lock
Heated lower electrode
Water cooled / heated chamber
Advanced Energy RF5S 500W 13.56 MHz power supply with match work
Windows OS
208 V, 60 A, 50/60 Hz
2001 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist eine fortschrittliche, hochleistungsfähige parallele Platte rodless Ätzer/Ascher Ausrüstung. Es ist für das zuverlässige und kostengünstige Ätzen komplexer Oberflächen ausgelegt. UNAXIS 790 erleichtert das schnelle Ätzen von Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 250 mm und sorgt für einen hochpräzisen Betrieb. Es verfügt über eine Prozesskammer mit zwei unabhängigen Reihen von Ätz- und Ascheelektroden, die aus einer Kombination von statischen Elektroden, festen dynamischen Elektroden und unabhängigen kehrfähigen Elektroden bestehen. Dies bietet Anwendern Flexibilität im Ätzmuster und ermöglicht ein gleichmäßiges oder selektives Ätzen einer beliebigen Oberflächengeometrie. PLASMATHERM 790 ist mit einer intuitiven automatisierten Steuerung ausgestattet, die eine Vielzahl von Fernbedienungsoptionen umfasst. Es ist für einfache Montage, Bedienung und Wartung konzipiert. Es verfügt über eine kompakte Stellfläche, so dass es in die meisten Laboreinstellungen passen. Die schlanke und hochintegrierte Einheit bietet zuverlässiges und präzises Ätzen mit hervorragender Wiederholbarkeit. 790 verwendet vier unabhängige Gasverteilungssysteme, die es dem Benutzer ermöglichen, die Durchflussraten und das Gemisch verschiedener Gase einzustellen, um eine präzise Ätzsteuerung zu erreichen. Die Maschine ist in der Lage, verschiedene Plasmaquellen wie Hochfrequenz (RF), Ultraviolett (UV) und Gleichstrom (DC) Plasmaquellen leicht zu integrieren, um eine breite Palette von Ätzfähigkeiten bereitzustellen. Ein optimiertes Lastverriegelungswerkzeug ergänzt die Prozessvielfalt und ermöglicht einen schnellen Substrataustausch und reproduzierbare Ergebnisse. PLASMATHERM/UNAXIS 790 verfügt auch über ein umfangreiches Angebot an Ätz- und Ablagerungsrezepten, wodurch die Ätzparameter für bestimmte Anwendungen einfach angepasst werden können. Die Anlage verfügt über mehrere fortschrittliche Sicherheitsmerkmale, wie Übertemperatur- und Überdruckschutz, um sicherzustellen, dass das Modell jederzeit effizient und sicher arbeitet. Die Ausrüstung ist für langzeitstabiles Ätzen ausgelegt, mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit im geätzten Bereich. Darüber hinaus verfügt UNAXIS 790 über ein benutzerfreundliches integriertes Datenerfassungssystem, das eine einfache Überwachung der Ätzergebnisse ermöglicht. Insgesamt ist PLASMATHERM 790 eine ideale Ätzeinheit für Labore, die zuverlässige, präzise und kostengünstige Ätz- und Ascheergebnisse erfordern. Die Kombination aus fortschrittlichen Konstruktionsmerkmalen, einfacher Einrichtung und Bedienung sowie ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Sicherheit machen es zur perfekten Wahl für jedes Labor.
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