Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9157170
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
ICP etcher, 8"
Manual load
Non-load lock
Single chamber
Advanced energy RF5S- 500W RF power supply for lower electrode
AM5 match work and controller
Advanced energy RF10M - 1000W RF power supply for upper electrode
AM10 match work and controller
Leybold 361C turbo pump with 150/360 controller
HP 919 Hot Cathode Ion gauge controller
(6) MFCs, He backside wafer cooling, Clamp style chuck
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für hochpräzise Ätzanwendungen entwickelt wurde. Dieses innovative Tool nutzt modernste Technologien, um überlegene Leistung bei zuverlässiger Qualität zu liefern. Sein leistungsfähiger Plasmagenerator ist in der Lage, bis zu UNAXIS 790 W Plasmaleistung mit variablen Strahlenbahnen zu liefern, was ihn ideal für das Ätzen verschiedener Materialien und Substrate mit einer breiten Palette von Adhäsionseigenschaften macht. Die Maschine ist mit einer PC-gesteuerten Prozessmanagementsoftware ausgestattet, die Prozesszyklen programmieren, Ausgangsparameter einstellen und die Leistung der Ausrüstung überwachen kann. Darüber hinaus ermöglicht die Software dem Bediener, die Kammertemperatur mit seiner präzisen Gaseinleitung genau zu steuern. Es verfügt über eine hochflexible Konstruktion, die eine breite Palette von Prozessparametern und Substratkonfigurationen ermöglicht. PLASMATHERM 790 hat eine Kapazität von 25 Litern, eine Ladekapazität von 5 kg und eine turmartige Arbeitszone mit einer Kapazität von bis zu 400 ° C. Es ist auch mit einem fortschrittlichen berührungslosen Kontrollsystem ausgestattet, das die erforderliche Parametertechnologie und -prozess überwacht. Dieser Ätzer/Ascher kommt auch mit zwei Impulsen und reaktiven Ionenätzprozesssteuerung, die eine unübertroffene Präzision für chemische Ätz-, Abscheidungs- und Ätzanwendungen bieten. Darüber hinaus verfügt die hochautomatisierte Maschine über eine Reihe automatisierter Systeme wie Plasmaaktivierung und automatische Gasreinheitsüberwachung. 790 verfügt über eine Vielzahl benutzerfreundlicher Zubehörteile wie ein Touchscreen-Bedienfeld, ein digitales Mikroskop und eine automatisierte Fehlerinspektionseinheit. Diese Add-ons bieten komplette Prozesskontrolle und überlegene Maschinenleistung. Darüber hinaus wird das Gerät durch ein umfassendes Service- und Supportpaket unterstützt, das 24/7-Remote-Diagnose, Wartung und Online-Hilfe umfasst. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät jederzeit mit Höchstleistung arbeitet. PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist das perfekte Werkzeug zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien. Die fortschrittlichen Eigenschaften, die robuste Konstruktion und das benutzerfreundliche Design machen es ideal für jeden Ätz- oder Ascheauftrag, egal ob im großen Maßstab oder in einem kleinen Forschungsprojekt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor