Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9375333 zu verkaufen
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ID: 9375333
Wafergröße: 4"
Inductively Coupled Plasma (ICP) etcher, 4"
(8) MFC Gas inputs
NESLAB Chiller
Turbo pump
Roughing pumps
Gases used:
Freon
Oxygen
Argon
C318
Nitrogen
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 ist ein von UNAXIS/PLASMATHERM entwickeltes Ätz-/Aschersystem zum Ätzen und Aschen von Substraten für fortschrittliche Verpackungsanwendungen. Die Ausrüstung ist eine kompakte Bank-Top-Plattform, die tiefenreaktive Ionenätz- oder Trockenätztechnologien zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien verwendet. Es vereint die Vorteile von hoher Ätzgenauigkeit, Wiederholbarkeit und hohem Durchsatz für die anspruchsvollsten Anwendungen. Das System ist eine einzige Kammereinheit, die eine Vielzahl von Substraten unterstützen kann und für eine Vielzahl von Ätzprozessen einschließlich Ascher und Trockenätzen verwendet werden kann. Es bietet eine optimierte korrosive Gasförderung und einen robusten Kammergenerator für hohe Durchsätze, wiederholbare Ätz-/Ascheprozesse. Das vom HF-Generator erzeugte Plasma wird verwendet, um hohe Ionen- und energetische Partikel für Ätz- und Aschesubstrate aller Art zu erzeugen. Die Maschine wird von einem Hochdruckregler und einem fortschrittlichen Software-Tool gesteuert, mit dem die Prozessparameter überwacht und gesteuert werden. Die Anlage verfügt auch über einen Vakuumregler und einen Druckmonitor, um genaues und wiederholbares Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Schließlich verfügt das Modell auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die eine Türverriegelung, einen Gasleckagedetektor und eine Gasalarmanlage umfassen. Diese Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Sicherheit der Benutzer, indem sie die versehentliche Freisetzung gefährlicher Dämpfe und Gase verhindern. Insgesamt ist UNAXIS 790 ein vielseitiges, zuverlässiges Ätz-/Aschesystem, das für eine Vielzahl fortschrittlicher Verpackungsanwendungen eingesetzt werden kann. Es bietet hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit für die anspruchsvollsten Produktionsanwendungen.
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