Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Batchtop VII #9123993 zu verkaufen
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ID: 9123993
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
PECVD system, 6"
Table top RIE
Operating software: Windows
Lower electrode RIE, 6"
Advanced Energy RFPP-RF5S (500 W-13.56 MHz)
RF Power supply with AM5 Matchbox and tunner
(3) Mass flow controls
208 V, 60 Hz
1994 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der einzigartig entworfen ist, um präzise und zuverlässige Verarbeitungsleistung für eine breite Palette von Materialien zu liefern. Dieser Ätzer und Ascher ist in der Lage, alle Materialien zu verarbeiten, einschließlich: Metalle, Polymere, Keramik und Quarz, sowie komplexere Multi-Direktions-Ätzungen. Durch die verschiedenen computergesteuerten Prozesse ist diese Maschine in der Lage, präzise Merkmale auf eine Vielzahl von Substraten und Teilen genau zu ätzen. UNAXIS Batchtop VII verwendet Plasma- oder reaktives Ionenätzen (RIE), um gemusterte Schichten und Merkmale auf Substraten zu ätzen. Für maximale Präzision verwendet die Maschine ein dielektrisches Plasma, das niedrigen Druck, hohe Gleichmäßigkeit, hohe Prozessraten und hohe Selektivität beibehält. Dadurch wird sichergestellt, dass präzise geätzte Schichten gleichmäßig und sehr detailliert sind. Die Maschine ist auf maximale Flexibilität und Anpassungsfähigkeit ausgelegt. Es ist einfach konfigurierbar und kann an die Bedürfnisse und Vorlieben jedes Benutzers angepasst werden. PLASMATHERM Batchtop VII ist mit Schnelllösekomponenten ausgestattet, die eine einfache Wartung und Reparatur ermöglichen. Die Maschine unterstützt auch mehrere Rezept-Management, so dass eine einfache Kommutierung zwischen Ätzrezepten. Batchtop VII enthält Sicherheitsfunktionen, die einen sicheren Betrieb des Ätzers und des Aschers gewährleisten. Diese Maschine ist ESD-sicher und enthält einen integrierten ionisierenden Lüfter, um Kontaminationen zu reduzieren. Die Maschine beinhaltet auch ein Verriegelungssystem, das einen korrekten Betrieb der Kammer gewährleistet und einen vollständigen Schutz vor plasmaerzeugten Feldern bietet. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem prädiktiven Wartungssystem ausgestattet, das Benutzer benachrichtigt, wenn ein Problem auftritt. Die Maschine verfügt über eingebaute Sensoren, die den Prozess überwachen und zur Problembehandlung verwendet werden können. Darüber hinaus verfügt das PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII über eine Funktion zur Rückverfolgbarkeit von Echtzeitprozessen, mit der Benutzer den Ätzverlauf jedes Auftrags überprüfen können. Insgesamt ist UNAXIS Batchtop VII ein unglaublich fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der eine präzise und zuverlässige Ätz- und Ascheleistung bietet. Diese Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, und sein flexibles Design ermöglicht eine einfache Wartung und Anpassung. Die Maschine umfasst auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen und vorausschauenden Wartungssystemen, die einen sicheren Betrieb gewährleisten.
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