Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline ist ein innovatives Nassätzgerät für den Einsatz in der Mikroelektronik und Nanotechnologie. UNAXIS Shuttleline verfügt über eine einfache, kostengünstige Wafer-Verarbeitungsplattform, die eine gleichzeitige Verarbeitung von bis zu 20 Wafern mit wählbaren Ätz-/Ascherezepten ermöglicht. Es ist als eigenständige Einheit konzipiert, die Einzelwafer-Vorreinigungs- und Nachreinigungsstationen sowie optionale Batch-Dip-Vorreinigungs- und Nachreinigungssysteme umfasst, die für einen erhöhten Durchsatz aufgerüstet werden können. Die Prozesskammern verfügen über Hochtemperaturoptionen bis 250 Grad Celsius, statische oder dynamische Kammern für verschiedene Ätz-/Ascherezepte und die Möglichkeit, Prozessereignisse mit In-situ-Prozesssteuerung zu überwachen. PLASMATHERM Shuttleline wurde entwickelt, um eine breite Palette von Wafergrößen und Materialien zu verarbeiten, mit der Fähigkeit, bis zu 150 mm Wafergrößen zu verarbeiten. Shuttleline verfügt auch über „Anti-Lock-Kammern“, um die Verarbeitungszeit zu reduzieren und den Durchsatz zu verbessern. Darüber hinaus ist PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline mit einem Rezept-Management-Gerät zum Speichern und Abrufen benutzerdefinierter Rezepte sowie einem integrierten Datenerfassungs- und Analysesystem ausgestattet, das in der Lage ist, Laminierungsprozessbilder für eine spätere Analyse zu erfassen. Neben den fortschrittlichen Funktionen wurde UNAXIS Shuttleline mit einer Kombination aus Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit konzipiert, mit austauschbaren Waferträgern und automatisierter Diagnose für eine schnelle und einfache Wartung. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer kompletten Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer Notdruckabschaltmaschine und einem automatischen Wasserabschaltventil, um mögliche Gefahrstoffabschaltungen und Geräteschäden zu verhindern. Schließlich ermöglicht die offene Architektur von PLASMATHERM Shuttleline eine einfache Integration mit anderen Systemen für kundenspezifische Anwendungen. Insgesamt ist Shuttleline Nassätzer/Ascher ein unglaublich fortschrittliches und zuverlässiges Stück Ätz-/Ascheausrüstung, das perfekt für Mikroelektronik und Nanotechnologie Industrie ist. Seine Kombination aus Flexibilität, Sicherheit, Wirtschaftlichkeit und Benutzerfreundlichkeit macht es zur perfekten Wahl für jeden Ätz-/Ascheauftrag.