Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9201916 zu verkaufen

ID: 9201916
Reactive ion etcher (RIE).
PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 ist ein fortschrittliches Plasmaätz- und Aschesystem, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist in der Lage, Trockenätzen durchzuführen, um Merkmale auf dem Nanometermaßstab zu erzeugen, unter Beibehaltung guter Prozesswiederholbarkeit und Produktionserträge. Der Ätzer/Ascher verfügt über einen eigenen High-End-Controller und ist mit einer 30-Zoll-Plasmaquelle ausgestattet, die eine maximale Ätzleistung von 20w/cm2 ermöglicht. Es wird von einem leistungsstarken, multitaskierenden Vakuumsystem mit der Fähigkeit angetrieben, Ätzparameter schnell zu wechseln und gleichzeitig eine stabile Prozessumgebung zu erhalten. Die fortschrittliche Ätztechnologie ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses bis hin zu einer Sub-Nanometer-Auflösung. Die Einheit zeigt eine intuitive benutzerfreundliche grafische Benutzerschnittstelle (GUI) mit der Echtzeitprozessinformationslieferung. Mit seinem Selbstüberwachungssystem kann UNAXIS SLR 720 Prozessbedingungen in Echtzeit erkennen und anpassen. Es bietet fortschrittliche Prozessoptimierung durch Abstimmung von Parametern in Bereichen wie Ionenenergie, Gasdruck und Kühlung. Der Ätzer/Ascher verfügt über eingebaute Diagnose- und Statusüberwachungssysteme, die mögliche Probleme erkennen und eine hohe Qualität des Endprodukts zeitnah gewährleisten können. Es ist mit Anti-Kontamination und eingebauten Sicherheitssystemen ausgestattet, um den sicheren Betrieb der Ausrüstung zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über ein breites Prozessfenster und kann zum Ätzen und Aschen von Dielektrika, Galliumarsenid, Silizium, Metallen, Polyimiden und anderen Materialien bei Temperaturen bis zu 500 ° C verwendet werden. Die automatisierten Prozesse ermöglichen Substratverträglichkeit und gleichmäßigen Materialabtrag ohne Beschädigung von Substraten. Es hat die Vielseitigkeit, tiefe Gräben, geätzte Muster, Mikrovias und Geräteeigenschaften bis zu 0,25 Mikrometer zu produzieren. Abschließend ist PLASMATHERM SLR 720 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der qualitativ hochwertige und zuverlässige Teile bei Nanometerauflösungen herstellen kann. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche, automatisierten Prozessen, integrierten Sicherheits- und Diagnosesystemen können Anwender sowohl zeit- als auch kosteneffiziente Ergebnisse erzielen.
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