Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9229827 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 ist eine Ätz-/Aschereinheit für präzise Plasmaätz- und Ascheanwendungen. Es ist für das 2D- oder 3D-Ätzen und Aschen von Substraten wie Silizium, Quarz, Halbleiter, Saphir und anderen Materialien optimiert. UNAXIS SLR 720 nutzt die UNAXIS Inline-Plasmaätztechnologie (IPE), um präzise und wiederholbare Prozessergebnisse mit hohem Durchsatz zu liefern. Das Gerät verfügt über eine CVD-Kammer mit einer Kapazität von bis zu 720 Wafern. Es verfügt über eine direkt angetriebene Lastverriegelung mit hoher Wiederholbarkeit, und das intelligente System zur Druckregelung passt den Druck dynamisch an, während die partikelfreie Umgebung erhalten bleibt. Die Ätzkammer hat einen einstellbaren Prozessdruck und ist mit PLASMATHERM MHD Präzisionsplasmaquelle ausgestattet. Dies liefert sehr hohe Ätzraten unter Beibehaltung einer ausgezeichneten Selektivität mit einem breiten Spektrum von Ätzgasen wie SF6, CF4, CF2Cl2 und vielen anderen. Das Gerät ist mit elektronischen Massendurchflussreglern zur präzisen Dosierung von Ätz- und Aschgasen sowie zur Steuerung der Temperatur des Substrats beim Ätzen und Aschen ausgestattet. Darüber hinaus unterstützt das System die hochpräzise Plume-Imaging-Technologie, um den Ätzprozess aktiv zu überwachen und das Ätzrezept für mehr Stabilität und Präzision anzupassen. Es verfügt auch über hochlebende schnelle Tuning-Funktionen, um Prozessparameter schnell zu optimieren. Sicherheitstechnisch ist das Gerät mit mehreren Prozessdruckregelfunktionen und zahlreichen Drucksicherheitssensoren ausgestattet. Dies gewährleistet eine sichere Umgebung für Personal und sensible Proben und reduziert gleichzeitig das Risiko eines Prozessausfalls. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein effektives CO2-Kühlsystem, um eine stabile Prozessumgebung zu gewährleisten. Insgesamt ist PLASMATHERM SLR 720 eine vielseitige Ätz-/Aschereinheit für präzise Plasmaätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt über zahlreiche Sicherheitsmerkmale und erweiterte Prozesskontrollen, die wiederholbare und zuverlässige Prozessergebnisse ermöglichen.