Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270532 zu verkaufen

PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720
ID: 9270532
Wafergröße: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8".
PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die auf einer Vielzahl von Substraten präzise strukturiert werden kann. Dieses System verwendet fortschrittliche Ionenstrahl- und Plasmatechnologie, um ein hochgenaues Ätzen und Aschen in einer Vielzahl von Materialien zu erreichen, einschließlich Metallen, Polymeren und Keramiken. UNAXIS SLR 720 verwendet ein gemischtes Gasverfahren, um die Ätzraten zu optimieren und gleichzeitig die Kontamination und Abscheidung unerwünschter Materialien zu minimieren. PLASMATHERM SLR 720 wurde entwickelt, um Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 7 Zoll aufzunehmen und kann Chargenätzungen für mehrere Teile mit einem einfachen Lastschloßkammerwechsel durchführen. Das Gerät verfügt über ein patentiertes Kippstufendesign, mit dem die Photolithographie zur direkten Ätzung in verschiedenen Schichten des Substrats verwendet werden kann. Dies ermöglicht das Ätzen komplexer Muster und Strukturen mit größerer Präzision und Genauigkeit als andere Systeme. Die Maschine bietet auch eine Reihe von Funktionen, um einen konsistenten Prozess zu gewährleisten. Die Prozesskammer verfügt über eine aktive Druckregelung, die es ermöglicht, präzise Druckeinstellungen vorzunehmen, um unterschiedliche Ätzraten und Substrate aufzunehmen. Es enthält auch Vakuumpumpen für erhöhte Ätzrate und gleichmäßigeres Ätzen von Mustern in verschiedenen Materialien. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine Inline-Temperatur- und Gasflussregelung, die eine genaue Prozesssteuerung und Substratanalyse ermöglicht. SLR 720 bietet auch eine Reihe von automatisierten Datenerfassungsfunktionen und ein integriertes Software-Asset für einfaches Datenmanagement und -analyse. Auf diese Weise können Benutzer Prozessergebnisse einfach erfassen und analysieren, Fehler identifizieren und die Wiederholbarkeit der Ergebnisse sicherstellen. Die Software enthält auch Funktionen, mit denen Benutzer ihren Prozess automatisieren und Ätzparameter für bestimmte Substrate und Anwendungen optimieren können. PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 umfasst neben seinen Ätz-/Ascher-Funktionen auch eine erweiterte Modellsteuerung, um eine Vielzahl von Diagnosefunktionen zu ermöglichen. Dazu gehören Substratcharakterisierung, Temperaturprofilierung und Schwellenwertanalyse. Auf diese Weise können Benutzer Probleme innerhalb des Prozesses identifizieren und Korrekturmaßnahmen ergreifen, bevor Qualitätsprobleme auftreten. Insgesamt ist UNAXIS SLR 720 eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die zuverlässige und präzise Musterungen in einer Vielzahl von Materialien durchführen kann. Seine integrierte Software und erweiterte Steuerungsfunktionen ermöglichen es Benutzern, den Prozess einfach zu überwachen und die Wiederholbarkeit der Ergebnisse sicherzustellen. Dieses System ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Forschung bis zur Produktion.
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