Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293585536 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 ist ein Ätzer/Ascher, der eine ideale Ausrüstung für Anwendungen in der Halbleiterbauelementherstellung bietet. Dieser Ätzer ist für den Reinraumbetrieb mit vollautomatischer Prozesssteuerung gebaut und kann Substrate bis 200 mm bis 200 mm verarbeiten. Das System umfasst mehrere Ätz- und Aschetechnologien wie induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) Ätzen und Sauerstoffplasmaaschen. Es ist mit einer 15-positionierten geometrischen Handhabungseinheit ausgestattet, die eine schnelle und präzise Probenpositionierung ermöglicht. UNAXIS SLR 730 verwendet eine ICP-Quelle zum Ätzen und enthält eine optionale integrierte Remote-Quelle. Diese Konfiguration ermöglicht höhere Ionenenergie, längere Plasmalebensdauer und geringeren Stromverbrauch als andere DC-Schwefelquellenätzprozesse. Zusätzlich ermöglicht die ICP-Quelle eine präzise Steuerung von Ätzparametern wie Ätzrate und Selektivität. Die Maschine verfügt auch über lastgesperrte Inertgasquellen, die eine schnelle Umstellung und minimale Verschmutzung ermöglichen. Die lastgesperrte Idee ermöglicht zusammen mit der integrierten Fernquelle die Durchführung mehrstufiger Prozesse in einem einzigen Werkzeug. Darüber hinaus bietet das Werkzeug eine präzise Temperaturregelung und ermöglicht eine wiederholbare und gleichmäßige Dickenätzung. Das Gut ist auch in der Lage, Wafer in präzisen Tiefen zu ätzen und zu waschen und dabei eine gute Oberflächenmorphologie zu erhalten. PLASMATHERM SLR 730 ist vorkalibriert und ohne zusätzliches Setup betriebsbereit. Das Modell ist mit allen gängigen Prozessgasen kompatibel, mit einem optionalen Waferaustauschgerät für schnelle Wafer-zu-Wafer-Übergänge. Der Ätzer bietet eine präzise Steuerung sowohl der Ätz- als auch der Ascheprozesse und ist mit einer Reihe von Optionen verfügbar, darunter ein Online-und integriertes Massenspektrometer und eine erweiterte Endpunktdetektion. Dies ermöglicht qualitativ hochwertige, wiederholbare Verarbeitungsergebnisse. Darüber hinaus verfügt das System über Roboterhandhabung, mehrere Prozesskammern und eine vollständig grafische Benutzeroberfläche. Insgesamt ist SLR 730 ein außergewöhnlicher Ätzer/Ascher. Bereitstellung einer automatisierten Prozesssteuerung und einer integrierten Fernquelle; diese Hightech-Einheit ist in der Lage, Substrate bis 200 mm präzise zu ätzen und zu veraschen und ist mit mehreren Ätz-/Veraschungstechnologien sowie einer 15-positionierten geometrischen Handhabungsmaschine ausgestattet, die eine schnelle und präzise Probenpositionierung ermöglicht. Mit seiner Fähigkeit, mehrstufige Prozesse durchzuführen, ist PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.