Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 Ätzer/Ascher ist ein hochpräzises und leistungsstarkes Produktionswerkzeug zum Ätzen und Aschen von Siliziumscheiben für die Halbleiterindustrie. Es ist mit einer neu gestalteten 8-Kammer-Prozesskammer und einer großen Prozessfläche für die beste Ätz- und Ascheleistung aus Produktionslinien-Prozessrezepten ausgestattet. Es liefert effizientere Prozessergebnisse für die Massenproduktion im Hochvakuum und Niederdruck sowie beste Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit. UNAXIS SLR 730 ist mit einem zuverlässigen HF-Generator ausgestattet, der präzises und robustes Ätzen mit Gleichmäßigkeit in Tiefe, Profil und Oberflächengüte gewährleistet. Dank seines fortschrittlichen linearen Bewegungssystems und der eingestellten Frequenzen ist es in der Lage, auf Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm mit hochauflösenden und wiederholbaren Prozessen zu ätzen. Die hochmoderne computergesteuerte, automatische Abstimmsteuerung sorgt für Gleichmäßigkeit zwischen allen Hohlräumen und Ätzzeit. Darüber hinaus verwendet PLASMATHERM SLR 730 ein einzigartiges Gasfördersystem, das hilft, einen optimalen Gasfluss für die Ätzgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Dieses System sorgt für eine homogene Gasverteilung aus allen Kammern und eine gleichmäßige Strömungsgeschwindigkeit in die Kammer, was zu einer verbesserten Gasnutzungseffizienz im Hochvakuum und einem sauberen Prozeß führt. Darüber hinaus ist SLR 730 mit modularen Schnittstellen und Teilen wie Kammern, Filterrohren, Tragkonstruktionen, Förderbändern sowie Vakuum- und Gasförderleitungen aufgebaut. Es enthält auch einen modularen programmierbaren Logikcontroller (SPS), der die zeitkritische Prozesssteuerung und -erkennung übernimmt und dynamische Anzeige-, Parametereinstell- und Rückverfolgbarkeitsmechanismen bereitstellt. Um höchste Zuverlässigkeit und Sicherheit zu gewährleisten, ist PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 Ätzer/Ascher mit einem Edelstahl innen und außen, eingebaute Redundanzen in kritischen Funktionskomponenten für Ausfallsicherheit, Flansche mit Dichtungen, elektronische Schlüsselschlösser, Lecksucher und Temperatursensoren. Es entspricht auch allen geltenden Sicherheits- und Gesundheitsvorschriften und -standards.