Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9224550 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 ist ein Ätzer/Ascher, der mit höherer Produktivität, überlegener Stabilität und besserer Ausbeute durch den Einsatz einer hochpräzisen Steuerung und einer fortschrittlichen Prozessfolgeausrüstung ausgelegt ist. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, eine breite Palette sowohl einfacher als auch komplexer Substrate mit schnellen Geschwindigkeiten bis zu 18.000 Wafern pro Stunde zu verarbeiten. Es ist in der Lage, hervorragende Ergebnisse für Ätz- und Nachätzreinigungsprozesse zu erzielen. UNAXIS SLR 740 verfügt über ein innovatives „Dual-Achsen“ -Design, das zwei rotierende Stufen kombiniert, um ideale Endergebnisse zu gewährleisten. Dieses zweiachsige Design reduziert Drehmoment und Vibrationen, verbessert die Präzision des Ätzprozesses und sorgt für hohe Genauigkeit für empfindlichere Substrate. Mit seiner hochgenauen Musterdefinition sorgt PLASMATHERM SLR 740 für eine überlegene Mustertransfer- und Reaktionszeit. Die Steuerung der Ätztiefe wird mit seinem fortschrittlichen Prozessleitsystem präzise verwaltet. Die elektro-optische Einheit des SLR 740 verwendet auch fortschrittliche Impedanztechnologie, um den Ätzprozess kontinuierlich zu überwachen. Diese Maschine erkennt sowohl Partikel- als auch Gasdefekte auf den Wafersubstraten und passt automatisch die Ätzzeit, die Gasdurchflussrate und die Chargengröße an, um eine überlegene Prozesssteuerung zu gewährleisten. PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 verfügt auch über einen HF-Generator, der Plasmaaktivierung verwendet, um Ätzraten und Erträge zu verbessern. Der HF-Generator ist programmierbar, um sowohl hohe Ätzraten als auch niedrige Prozesstemperaturen zu erreichen, was sowohl Waferschäden als auch Konformationsänderungen durch thermische Ausdehnung minimiert. UNAXIS SLR 740 enthält auch ein fortschrittliches Heizungsmanagement-Tool, mit dem Benutzer sowohl Kammer- als auch Substrattemperaturen einstellen können, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. PLASMATHERM SLR 740 reduziert stark Temperaturschwankungen und Prozessschwankungen, um höhere Ausbeuten und eine bessere Wiederholbarkeit auch bei langen Ätzprozessen zu erzielen. Insgesamt ist SLR 740 ein idealer Ätzer/Ascher für die Verarbeitung von hochpräzisen Substraten und Materialien mit minimalen Rüstzeiten und verbesserten Erträgen. Das Dual-Achsen-Design, die fortschrittliche Prozesssteuerung und der HF-Generator bieten eine überlegene Prozesssteuerung und optimale Ätzraten für hervorragende Endergebnisse.