Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für das hochpräzise Plasmaätzen und Aschen von Platten und Wafern in MEMS- und Mikroherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Muster mit einem Minimum von 0,2 μ m Maßstab Merkmale zu produzieren, während überlegene Wiederholbarkeit gegenüber abrasiven Methoden. Das Gerät wird mit einer gepulsten Gleichstrom-Plasmaquelle kombiniert mit hochauflösendem Druckdifferenzsystem entwickelt, um einen Differenzdruckbereich nahe der zu ätzenden und zu aschenden Oberfläche zu schaffen und aufrechtzuerhalten. Dies ermöglicht eine bessere Steuerung der Plasmahülle und eine niedrigere Temperatur beim Ätzen/Aschen von Materialien. UNAXIS SLR 740 beinhaltet auch eine mehrstufige Plasmaätz-/Aschetechnologie für mehr Prozesskontrolle und verbesserte Qualität. Die erweiterten Funktionen des Geräts umfassen einen hochpräzisen und wiederholbaren hochfesten HF-Generator, um konsistentes und zuverlässiges Ätzen, Aschen und Abbilden mit geringen Kosten pro Funktion zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem speziellen Durchfluss-Gas-Fördermodul für den Einsatz mit mehreren Gassätzen ausgestattet. Dies ist ideal für Anwendungen, die ein Niedertemperaturätzen/-aschen erfordern, und gewährleistet konsistente und genaue Plasmaergebnisse. Das Tool umfasst auch Vector Plus Steuerungs- und Compliance-Software, die unbegrenzte Rezept- und Rezeptsicherheit bietet, und eine intelligente, benutzerfreundliche grafische Oberfläche zur Überwachung und Protokollierung aller prozessbezogenen Parameter. Das Asset ist zudem kompatibel mit einer Reihe von automatisierten Handlingsystemen und Vakuumtechnologien von UNAXIS und nonPLASMATHERM für mehr Flexibilität und schnellere Werkzeugausnutzung. Mit der Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Saphir, Polysilizium und Aluminium zu ätzen/aschen und eine Mindesteigenschaftsgröße von 0,2 μ m oder weniger zu erzeugen, ist PLASMATHERM SLR 740 eine intelligente Wahl für alle Ihre MEMS und Mikroherstellungsanwendungen.