Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die für High-End-Anwendungen von UNAXIS entwickelt wurde. Es ist ein Hochleistungs-Trockenätzwerkzeug mit Mehrkammerdesign und mehreren Ätz- und Aschesystemen. Es verfügt über eine Hochvakuumkammer, die die Abscheidung und Ätzung verschiedener Materialien ermöglicht, komplexe Strukturen und Muster zu bilden. Das Werkzeug hat auch eine hohe Geschwindigkeit planarizing Mehrstufensystem, um den Abstand zwischen Linien zu kontrollieren und genaue Muster zu schaffen, um Verarbeitungszeiten zu verkürzen. Es bietet auch die Möglichkeit, Ätz- und Veraschungszeiten und Prozesse schnell zu ändern, um die Prozessleistung zu optimieren. Die Kammer kann mit mehreren Ätz- und Aschesystemen markiert werden, die alle bei hohem Druck und Temperatur arbeiten können. Dadurch kann das Gerät verschiedene Ätz- und Ascheprozesse auf verschiedene Wafer und Substrate anwenden. Die Maschine ist auch in der Lage, mehrere Ätzschritte anzuwenden, um hochauflösende Muster mit komplizierten Strukturen zu erstellen. Mit der Kombination aus einem leistungsstarken Gaswerkzeug und fortschrittlichen optischen Systemen ist das Asset in der Lage, Materialien mit niedrigen Fehlerquoten und hoher Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit zu ätzen und zu aschen. Das Modell kann auch Verfahren bei höchsten Drücken und niedrigen Temperaturen anwenden, um Überhitzung und Oxidation zu vermeiden. Die Geräte können verschiedene Ätz- und Ascheprozesse auf Materialien wie ein- und doppelseitige Substrate, LCDs, Folien, Metalle und andere anwenden. Es verfügt außerdem über eine automatisierte laufende System- und Fehlerkorrektureinheit, die die Produktivität des Ätz-/Ascheprozesses verbessern kann. UNAXIS SLR wird auch mit einer High-End-Wafer-Ausrichtmaschine geliefert, um eine präzise Ausrichtung des Substrats zu gewährleisten, die für hochauflösende Muster entscheidend ist. Insgesamt ist PLASMATHERM SLR ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann, vom Ätzen komplexer und komplizierter Muster bis zum Aschen von LCDs, Folien, Metallen und mehr. Es hat auch die Fähigkeit, bei hohen Drücken und niedrigen Temperaturen zu verarbeiten, und verfügt über automatisierte Wafer-Ausrichtung und Run-to-Run-Systeme, die genaue und wiederholbare Prozesse und hohe Produktivität gewährleisten.