Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für hohe Sauberkeit, Hochleistungsätzen und Aschen von fortschrittlichen Materialien wie Si, GaAs, SOI, GaN, RTP und PECVD entwickelt wurde. Dieses Tool verfügt über ein neuartiges Design einzelnes HF-Netzteil, das die Ätzgleichmäßigkeit verbessert, zur überlegenen Überätzprävention beiträgt und eine ausgezeichnete Prozessstabilität gewährleistet. Die einzelne HF-Pumpe reduziert auch das thermische Budget jeder Heizung und ermöglicht kürzere Ätzzeiten. Das Softwarepaket, das mit dieser Maschine geliefert wird, bietet die Steuerung aller HF-Leistungsparameter, von der Quellenleistungs- und Leistungspegelsteuerung bis zur Pulszeitsteuerung und Kammerstabilität. Die für die Plasmaüberwachung eingesetzte Probenahmekameraausrüstung ermöglicht eine In-situ-Prozessoptimierung mit präziser zerstörungsfreier Prozessüberwachung. Das Steuerungssystem ermöglicht auch eine breite Palette neuer und innovativer Prozesssysteme durch die Einrichtung und Modifikation von Prozessrezepten. Das Werkzeug ist zusätzlich mit einem auf Mikrowellentechnik basierenden Aggregat ausgestattet, um die Präzision und Prozesssteuerungsflexibilität weiter zu erhöhen. Zusätzlich steht optional eine kryogene Kühlmaschine zur Verfügung, die bei einigen Materialien Prozesstemperaturen nahe -100 ° C ermöglicht. Darüber hinaus wird das Werkzeug mit verschiedenen Vakuumsystemen installiert, um Prozessverunreinigungen zu reduzieren und die Ätzgleichmäßigkeit zu verbessern. UNAXIS SLR verfügt über ein fortschrittliches Werkzeug zur selbstkorrigierenden Endpunkterkennung, das Überätzen verhindert und Wiederholbarkeit gewährleistet. Die Standard-Prozesskammer an der Maschine hat eine 75,4 mm x 102 mm nutzbare Fensterfläche zum Ätzen und ein 15,2 Liter Ätzvolumen. Ein zusätzliches Upgrade mit einem Ceramicliner Upgrade kann die nutzbare Fensterfläche um 43,4% und das Ätzvolumen um 50% erhöhen. PLASMATHERM SLR ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung fortschrittlicher Geräte und eignet sich hervorragend für Prozessingenieure, die ein Werkzeug suchen, das eine hervorragende Ätzgleichmäßigkeit, stabile Prozesse und hochmoderne Überwachungssysteme bietet.