Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS SLR ist eine Hochgeschwindigkeits-Plasmaätz- und Aschelösung, die für die präzise Mikrobearbeitung von harten Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es ideal für den Einsatz in der Herstellung von fortschrittlichen technischen Anwendungen, wie Halbleiter und MEMS (mikro-elektromechanische Systeme). UNAXIS SLR ist für fortschrittliche Prozessflexibilität und hohe Produktivität mit der Fähigkeit zur Bearbeitung von Substraten bis 300mm x 600mm konzipiert. Es eignet sich zum Aschen und Ätzen unterschiedlichster Materialien, darunter Metalle, Keramiken und Polymere mit Ätzraten bis 60 μ m/min. Die Plasmaätz- und Ascheausrüstung ist auf einer dreiarmigen Roboterplattform aufgebaut, um eine präzise Bearbeitung von Substraten zu ermöglichen. Seine Twin-Pressure-Technologie bietet gleichmäßige Ätzraten über das gesamte Substrat mit höchster Präzision. Es bietet auch eines der schnellsten, robustesten Ätz-/Aschesysteme, die für eine schnelle Wende in der Branche verfügbar sind. PLASMATHERM SLR nutzt fortschrittliche Plasmakontrollsysteme, um hochwertige mikromachinierte Strukturen bereitzustellen. Ein dreistufiges Plasmaextraktionssystem sorgt für hohe Substratausbeuten und niedrige Betriebskosten. Die abstimmbare Plasmaquelle gewährleistet auch unabhängig von den Eigenschaften des Substratmaterials eine optimale Ätzrate und Gleichmäßigkeit. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Plasmagasoptionen, einschließlich Chlor, Sauerstoff, Stickstoff und Argon, um Anwendungen für verschiedene Materialien zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über eine ausgeklügelte Prozessautomatisierung für den Betrieb mit hohem Volumen und geringem Volumen, wodurch hohe Substratausbeuten bei minimalem Eingriff des Bedieners gewährleistet sind. SLR ist auch sehr zuverlässig und bietet nicht nur hohe Leistung, sondern auch jahrelangen problemlosen Betrieb. Ein integrierter Fußschalter ermöglicht eine sichere Fernbedienung der Maschine. PLASMATHERM/UNAXIS SLR ist mit seinem kompakten Design und der einfachen Installation eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen, die einen schnellen Durchsatz, überlegene Präzision und hohe Produktausbeuten erfordern.